| Chambre | Orientation verticale, 1 porte |
|---|---|
| Matériel | Acier inoxydable 316 |
| Technologie de vide | Revêtement dur de PVD, revêtement de CrN, électrodéposition de pvd, évaporation cathodique d'arc |
| Sources de dépôt | Sources d'arc |
| Films de revêtement | Électrodéposition de film métallique de Cr, de CrN, de centre de détection et de contrôle etc., nitr |
