La LED en céramique ébrèche l'usine de revêtement de pulvérisation/AG, dépôt de Cu sur Al2O3, cartes d'AlN
Représentation
1. Pression finale de vide : améliorez que les torr 5.0×10-6.
2. Pression fonctionnante de vide : Torr 1.0×10-4.
3. Temps de Pumpingdown : de 1 atmosphère à 1.0×10-4 Torr≤ 3 minutes (la température ambiante, sèche, nettoient et vident la chambre)
4. Métallisation du matériel (pulvérisant + évaporation d'arc) : Ni, Cu, AG, Au, Ti, Zr, Cr etc.
5. Modèle fonctionnant : Plein automatiquement /Semi-Auto/ manuellement
Structure
La machine de métallisation sous vide contient le système de clé accompli énuméré ci-dessous :
1. Puits à dépression
2. Système de pompage de vide de Rouhging (paquet de pompe de support)
3. Système de pompage de vide poussé (par magnétisme pompe moléculaire de suspension)
4. Système de commande électrique et d'opération
5. Système d'installation d'Auxiliarry (sous-système)
6. Système de dépôt
Fonctionnalités clé de cuivre de machine de revêtement de pulvérisation
1. Équipé de 8 cathodes d'arc de boeuf et de cathodes de pulvérisation de C.C, cathodes de pulvérisation de MF, unité de source d'ions.
2. Revêtement multicouche et de Co-dépôt disponible
3. La source d'ions pour le traitement préparatoire et le faisceau ionique de nettoyage de plasma a aidé le dépôt pour augmenter l'adhérence de film.
4. Substrats en céramique d'Al2O3/AlN réchauffant l'unité ;
5. Système de rotation et de révolution de substrat, pour 1 revêtement latéral et le revêtement de 2 côtés.
Usine de revêtement de pulvérisation de magnétron de tonnelier sur le substrat en céramique de rayonnement
Le cuivre d'électrodéposition direct de processus de DPC est une technologie avancée de revêtement appliquée avec la LED/semi-conducteur/industries électroniques. Une application typique est en céramique rayonnant le substrat.
Le dépôt conducteur de film de tonnelier sur Al2O3, substrats d'AlN par PVD nettoient à l'aspirateur la technologie de pulvérisation, comparée aux méthodes de fabrication traditionnelles : DBC LTCC HTCC, coût de production beaucoup inférieur est sa caractéristique élevée.
L'équipe royale de technologie assited notre client a développé le processus de DPC avec succès avec la technologie de pulvérisation de PVD.
La machine de RTAC1215-SP a conçu exclusivement pour le revêtement conducteur de cuivre de film sur les puces en céramique, carte en céramique.
Veuillez nous contacter avec plus de caractéristiques, technologie royale est honoré pour te fournir les solutions totales de revêtement.
