Pulvérisation de système de dépôt de la couche mince de PVD et équipement de évaporation thermique de métallisation sous vide
Système de dépôt de la couche mince de PVD, pulvérisation et équipement de évaporation thermique de métallisation sous vide
Le système de dépôt de la couche mince de PVD contient les sources de dépôt de source d'évaporation de filament de tungstène et le magnétron de C.C pulvérisent des sources (les cathodes de pulvérisation de rf sont pour l'option). Cet équipement est en grande partie utilisé pour déposer les couches minces sur les parties, le verre, le métal ou les aluminium en plastique avec les matériaux déposants comme : Al en métal, Cr, Cu, AG, Au, sources purs d'évaporation du Ti etc. généralement pour obtenir les hautes couches minces réfléchissantes sur des surfaces de produits ou les films conducteurs, ou pour donner une image métallique de perspectives. Sauf que, les sources de pulvérisation condensent un large éventail de matériaux et de diélectriques de semi-conducteur comprenant les oxydes conducteurs transparents, etc.
Configurations système de dépôt de la couche mince de PVD :
Représentation
1. Pression finale de vide : améliorez que les torr 5.0×10-6.
2. Pression fonctionnante de vide : Torr 1.0×10-4.
3. Pompant le temps d'arrêt de 1 atmosphère aux minutes de 1.0×10-4 Torr≤3 (la température ambiante, sèchent, nettoient et vident la chambre)
4. Métallisation du matériel (évaporation) : Al, Cr, Sn, Ti, solides solubles, Cu… etc.
5. Modèle fonctionnant : Plein automatiquement /Semi-Auto/ manuellement
structure de l
La machine de métallisation sous vide contient le système de clé accompli énuméré ci-dessous :
1. Puits à dépression
1,1 taille : Diamètre intérieur 1600mm
Taille intérieure 1600mm
1,2 matériel : Puits à dépression SUS304 (acier SS41 doux pour l'option)
Porte et brides SUS304 (acier SS41 doux pour l'option)
La chambre renforcent la structure : Acier SS41 doux, avec la préparation de surface de finition peinte.
Acier doux du châssis SS41 de chambre avec la préparation de surface de finition peinte.
1,3 bouclier : SUS304
1,4 fenêtre de vue : sur la porte de chambre
1,5 clapet de mise à l'air libre de puits à dépression, y compris le silencieux
1,6 matériel de la porte SUS304
2. Système de pompage de vide de Rouhging
3. Système de pompage de vide poussé
4. Écran tactile électrique du système de commande et d'opération PLC+
4,1 circuit de canalisation : commutateur de briseur d'Aucun-fusible, commutateur électromagnétique, type de C/T en série
4,2 puissance d'évaporation : 35kVA
4,3 système de contrôle d'évaporation
4,4 système d'opération : Écran tactile + PLC, contrôle de recette et enregistrement de données, arrêt automatique, évacuation automatique, revêtement automatique
4,5 système de mesure de pression de vide
Mesure de vide : Pirani + parquant la mesure
Mesure de thermocouple : 760 torr | torr 5*10-4
4,6 système d'alarme : Pression d'air comprimé, écoulement d'eau de refroidissement, Mis-opération
4,7 indicateur de charge de puissance : Indicateur de tension et indicateur de courant de charge
5. Système de dépôt
5,1 source d'évaporation de filament de tungstène
5,2 matériaux thermiques d'évaporation : fils, anneaux, tiges etc.
5,3 pulvérisez les sources (DC/MF actionnés par l'électricité)
6. Sous-système
6,1 système de contrôle comprimé de valve d'air
6,2 système de valve de tuyau et de commutateur d'écoulement de la Système-eau de l'eau de refroidissement
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