Machine de revêtement de pulvérisation de machine/magnétron de métallisation sous vide de PVD, machine de revêtement métallurgique de pvd
Cette machine convient au système de métallisation sous vide de production industrielle. Elle équipe une grande source d'évaporation d'ion d'arc de plaine de taille et peut haute performance de deposite dur de film métallique par technologie d'évaporation d'arc, telle que l'étain, le TiCN, l'AlTiN et toutes sortes de l'autre film spécial selon les exigences de client.
Le revêtement de DLC (carbone diamantaire) est la combinaison du diamant (SP3) et du graphite (SP2). Les propriétés physiques et chimiques de DLC sont intermédiaires à celle du diamant et du graphite
Caractéristiques
| MODÈLE | RTAS1000 | |||||||
| TECHNOLOGIE | électrodéposition + magnétron d'arc pulvérisant + source d'ions | |||||||
| MATÉRIEL DE CHAMBRE | Acier inoxydable (S304) | |||||||
| TAILLE DE CHAMBRE | Φ1000*1000mm (h) | |||||||
| TYPE DE CHAMBRE | Chambre d'octaèdre régulier, 2 portes | |||||||
| SUPPORT DE ROTATION ET SYSTÈME DE GABARIT | 6 satellite (de 8), poids maximal : 400kgs | |||||||
| ALIMENTATIONS D'ÉNERGIE | Quantité. de la pulvérisation : Kilowatt 2*24 de biais d'alimentation d'énergie : l'alimentation d'énergie de 1*24W EA pour l'énergie de source d'ions d'option alimentation 2 ensembles, alimentation d'énergie des EA pour l'option | |||||||
| MATÉRIEL DE DÉPÔT | Ti, Zr, TiAl, Cu, Au | |||||||
| SOURCE DE DÉPÔT |
cathodes de pulvérisation de 2 paires (4 morceaux) + 6 arcs enduisant le secteur : Dia800mm*H550mm ; |
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| CONTRÔLE | PLC (contrôleur programmable de logique) + écran tactile (modèles d'opération semi-automatiques de manual+ auto+) | |||||||
| SYSTÈME DE POMPE | Pompe de palette rotatoire : SV300B - 1 ensemble (Leybold) | |||||||
| Pompe de racines : WAU1001 - 1 ensemble (Leybold) | ||||||||
| Tenir la pompe : D60C-1set- (Leybold) | ||||||||
| Pompe moléculaire de suspension de rotor de Magnetric : MAG2200 - 2 ensembles (Leybold) | ||||||||
| CONTRÔLEUR D'ÉCOULEMENT DE LA MASSE DE GAZ | 3 canaux, fabriqués en Amérique (marque de MKS) | |||||||
| MESURE DE VIDE | Modèle : ZDF-X-LE, fabriqué en Chine | |||||||
| Source d'ions linéaire | 2 morceaux traitant préalablement, nettoyage de plasma + ont aidé le dépôt | |||||||
| SYSTÈME DE SÛRETÉ | Contacts de sécurité nombreux pour protéger les opérateurs et l'équipement | |||||||
| CHAUFFAGE | Appareils de chauffage : 20KW. Temp maximal. : 400℃ | |||||||
| REFROIDISSEMENT | Réfrigérateur industriel (eau froide) | |||||||
| MAXIMUM DE PUISSANCE. | 100KW (approximativement) | |||||||
| PUISSANCE MOYEN | 45 kilowatts (approximativement) | |||||||
| POIDS BRUT | T (approximativement) | |||||||
| COPIE DE PIED | (L*W*H) 4000*4000 *4000 MILLIMÈTRE | |||||||
| PUISSANCE ÉLECTRIQUE | C.A. 380V/3 phases/50HZ | |||||||
