Scintillateur à rayons X (CsI) Système de dépôt sous vide poussé, résolution spatiale ultra-élevée CsI du revêtement d'imagerie
Le système de dépôt sous vide poussé CsI est exclusivement conçu pour la métallisation CsI sur des écrans à scintillation dans un environnement de vide extrêmement poussé.
Les scintillateurs CsI ont une épaisseur de 200 à 600 µm avec une grande uniformité d'épaisseur et de luminosité.
Caractérisation des dépôts d'iodure de césium (CsI ) :
Ultra-haute résolution spatiale de l'imagerie ;
Réponse rapide pour une imagerie plus nette ;
Zones d'image bord à bord de première classe ;
Couches absorbantes optiques ou couches réfléchissantes ;
Faible dose de rayons X pour le patient ;
Application: pour le contrôle et l'inspection de sécurité, l'enseignement de la physique des hautes énergies, la détection des rayonnements nucléaires et l'imagerie médicale : examen thoracique, mamographie, interbuccale dentaire et panoramique.
Substrats appliqués :Verre TFT, plaque à fibre optique, plaque en carbone amorphe, plaque en aluminium
Caractéristiques de l'équipement :
Fiabilité:
Fonctionnement non-stop 24h/24 et 7j/7 ;
Contrôleur d'épaisseur de film Inficon pour surveiller l'épaisseur du film en ligne.
Précision du contrôle de la température : ± 1 ℃, réglage en plusieurs étapes, enregistrement et contrôle automatiques des données de température
Racks rotatifs équipés d'un servomoteur pour une grande précision et stabilité.
Sécurité:
Pompe à vide poussé : pompe moléculaire à suspension magnétique, avec dispositif de soufflage d'azote gazeux pour éviter que des matières dangereuses ne soient exposées dans l'air ;
Toutes les électrodes sont équipées de manchons de protection de sécurité.
Répétabilité & Reproductibilité :
Grâce à un système de contrôle des paramètres de haute précision,
Logiciel et programme de contrôle de processus automatisé,
Fonctionnement convivial.
Efficacité:
Le modèle CsI-950A + est doté d'une structure de rack à 2 rotations basée sur le modèle CsI-950 de génération -1.
Double capacité pour max.substrat de taille : 500 x400mm.
Spécifications techniques
| La description | CSI-950 |
CSI-950A+
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Chambre de dépôt (mm)
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φ950 x H1350 |
φ950 x H1350
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| Chargement des racks rotatifs | 1 | 2 |
| Sources d'évaporation | 2 |
2
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| Méthode de chauffage |
Lampe iode tungstène Max.800℃ |
Lampe iode tungstène Max.800℃ |
| Pression de vide ultime (Pa) | 8.0×10-5Pa | 8.0×10-5Pa |
| Pompe moléculaire à suspension magnétique | 1 x 3400L/S |
1 x 3400L/S
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| Pompe à racines | 1 x 490m³/h |
1 x 490m³/h
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| Pompe à palettes rotatives | 1 x 300m³/h |
1 x 300m³/h
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| Contrôleur de dépôt | Commande à quartz x 1 |
Commande à quartz x 1
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| Consommation d'énergie (kW) |
Max.environ.62 Moyenne env.32 |
Max.environ.65 Moyenne env.35 |
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Équipement de métallisation sous vide à l'iodure de césium (Csl)...
