ITO Film Coating Machine, type de Bath dispositif d'enduction de pulvérisation de magnétron de film d'ITO/verre ITO Deposition Machine
Applications standard d'ITO Film Coating Machine : ANIMAL FAMILIER, verre, pour produire des couches de revêtement d'ITO.
Temps établi par machine : 2012, Chine.
Application : Film de l'AR, film d'ITO.
Morceaux de travail :
Taille : 300mm*100mm
Épaisseur d'ANIMAL FAMILIER : 0.175mm+/-0.05mm
*Thickness d'ITO Film : 185nm+/-5nm
Résistance de feuille : 6~8ohm/sq
Configurations techniques d'ITO Film Coating Machine :
1) Sources de pulvérisation de C.C : Cu, Al, ITO
2) Sources de pulvérisation de MF
3) Groupe moléculaire de pompe de Turbo + de pompe de support
4) Champ magnétique à haute intensité pour améliorer la qualité de film d'ITO, taux d'utilisation de cible >30%
5) Le Cu, Al, SI vise le taux d'utilisation > 35%
6) Taux de dépôt : 30nm m/min | 40nm m/min
7) Région d'uniformité de pulvérisation : 350mm
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