Caractéristiques de l'équipement de revêtement en céramique PVD :
1. La chambre à vide est une porte ouverte verticale, 304 fabrications en acier inoxydable, diamètre interne de la chambre à vide de φ1400mm-Φ2000mm;
2. Système de vide par pompe à palettes rotatives, pompe Roots et pompes à diffusion d'huile ou constitution de pompe moléculaire ;
3. Le système de revêtement utilise 1 à 2 magnétismes à fréquence intermédiaire pour contrôler la source d'alimentation de pulvérisation, dispose de 1 à 2 paires de magnétisme non équilibré pour contrôler la cible et dispose de 14 à 40 sources d'arc.
4. Source d'alimentation de polarisation d'impulsion à haut rendement;
5. Le système de gazéification utilise un débitmètre massique gazeux produit dans le pays ou importé, le compteur de contrôle de la quantité de gaz (démonstration);
6. Le circuit électrique d'établissement du système à commande électrique surchargé, coupe l'alimentation en eau, éteint le dispositif d'alarme acousto-optique ;
7. Système de contrôle (écran tactile + PLC), paramètre détaillé d'affichage en temps réel, processus de production de contrôle entièrement automatique et paramètre technologique de mémoire automatique.
Équipement de revêtement PVD - Spécifications RTAC1618
| MAQUETTE | RTAC1618 | ||
| MATÉRIEL | Acier inoxydable (S304) | ||
| TAILLE DE LA CHAMBRE | Φ1600*1800mm (H) | ||
| SYSTÈME DE POMPE | Pompe à vide à piston rotatif (mécanique) | ||
| Pompe à vide à palettes rotatives (maintien) | |||
| Pompe à vide Roots | |||
| Pompe à diffusion | |||
| LA TECHNOLOGIE | Placage ionique (sources multi-arcs) | ||
| CIBLES TYPIQUES | Chrome, Titane, Zirconium, TiAl | ||
| GAZ | Débitmètres massiques de gaz (Ar, N2,) Argon, Azote | ||
| CONTRÔLER | PLC (contrôleur logique programmable) | ||
| SYSTÈME DE SÉCURITÉ | Nombreux verrouillages de sécurité pour protéger les opérateurs et l'équipement | ||
| REFROIDISSEMENT | Recyclage de l'eau de refroidissement | ||
| CHAUFFAGE | Chauffage, jusqu'à 300℃ | ||
| PUISSANCE MAX. | 150KW (environ) | ||
| CONSOMMATION ÉLECTRIQUE MOYENNE | 70KW (environ) | ||
Équipement de revêtement en céramique PVDutilise la technologie de placage ionique pour évaporer les métaux solides comme le titane, le chrome par une source d'arc cathodique et condenser les métaux ionisés sur la surface du produit pour générer le film nano mince dans un environnement sous vide poussé.Avec le gaz réactif comme : L'azote pour générer différentes couleurs.
D'autres tailles de machines personnalisées sont disponibles en fonction des dimensions de produit spécifiées et de la demande de capacité.
Modèle | RTAC-1008 | RTAC-1012 | RTAC-1215 | RTAC-1416 | RTAC-1618 | ||||||
| Taille intérieure de la chambre | 1000x800mm | 1000x1200mm | 1200x1500mm | 1400x1600mm | 1600x1600mm | ||||||
| Type d'alimentation | Alimentation à l'arc, alimentation à filament, alimentation à polarisation d'impulsion | ||||||||||
| Structure de la chambre à vide | Structure de porte avant verticale, système d'échappement d'air arrière et chambre de refroidissement par eau à double couche | ||||||||||
| Matériau de la chambre à vide | acier inoxydable 304/316L | ||||||||||
| Vide ultime | 6.0x10-4Pa (déchargement, nettoyage, chambre de séchage) | ||||||||||
| Vitesse de pompage sous vide | de l'atmosphère à 8.0*10-3Pa ≤15 minutes | ||||||||||
| Système de pompage sous vide | Pompe à diffusion ou pompe moléculaire + Pompe Roots + Pompe Mécanique + Pompe Holding (le modèle spécifique peut être sélectionné selon les exigences du client) | ||||||||||
| Source d'arc | 6 unités ou 8 unités | 8 unités ou 10 unités | 10 unités ou 12 unités | 14 unités ou 16 unités | 16 unités ou 18 unités | ||||||
| Alimentation de polarisation | 20KW/ensemble | 20KW/ensemble | 30KW/ensemble | 40KW/ensemble | 50KW/ensemble | ||||||
| Modèle de conduite | Révolution et rotation planétaires, régulation de vitesse à fréquence variable (contrôlable et réglable) | ||||||||||
| Système de chauffage | Contrôlable et réglable de la température ambiante à 450°C (Contrôle de température PID) | ||||||||||
| MFC | Système de contrôle et d'affichage du débit de gaz de procédé à 3 ou 4 voies, système de gazage automatique sélectif | ||||||||||
| Système de refroidissement | Mode de refroidissement par circulation d'eau, tour d'eau de refroidissement ou refroidisseur d'eau industriel ou système de refroidissement profond.(Fourni par les clients) | ||||||||||
| Mode de contrôle | Mode d'intégration manuel/automatique, opération d'écran tactile, PLC ou commande d'ordinateur | ||||||||||
| Pouvoir total | 30KW | 35KW | 45KW | 60KW | 75KW | ||||||
| Alarme et protection | Alarme manque d'eau, surintensité et surtension, circuit ouvert et autres conditions anormales des pompes, cibles, etc. et exécuter les mesures de protection pertinentes et la fonction de verrouillage électrique | ||||||||||
| Zone d'équipement | W2.5m*L3.5m | L3m*L4m | L4m*L5m | W4.5m*L6m | W5m*L7m | ||||||
| Autres paramètres techniques | Pression d'eau ≥0.2MPa, température de l'eau ≤25°C, pression d'air 0.5-0.8MPa | ||||||||||
| Remarques | La configuration spécifique de l'équipement de revêtement peut être conçue en fonction des exigences de processus des produits de revêtement | ||||||||||
Limes en céramique Échantillons de revêtement PVD
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