Multiple de R&D - équipement MF de métallisation sous vide de fonctions/cathodes de pulvérisation de C.C, avec le dispositif linéaire de source d'ions

Multiple de R&D - équipement MF de métallisation sous vide de fonctions/cathodes de pulvérisation de C.C

Équipement de métallisation sous vide de Multiple-fonctions de R&D

Mots-clés : Les revêtements durs de PVD, processus de PECVD, film de DLC, diamant aiment le film de carbone, film optique de pulvérisation, cathode de pulvérisation de magnétron de Gencoa, la source d'ions, la PA PVD

Caractéristiques de conception de RTAC950-SP :

• Flexibilité : courbez et pulvérisez les sources, dispositifs linéaires de source d'ions que des brides de support sont normalisées pour l'échange flexible
• Polyvalence : disponible pour la variété de dépôt de métaux non précieux et alliages, revêtements optiques et revêtements durs, revêtements mous. Films composés et pellicules lubrifiantes solides sur les substrats métalliques et non métalliques de matériaux
• Conception simple : structure de porte 2, avant et ouverture arrière pour l'entretien facile.

Spécifications techniques

• Représentation

1. Pression finale de vide : améliorez que la PA 8.0*10-4 ;

• Basez la pression de vide : PA 3.0*10-2

3. Temps d'arrêt de pompage : de l'atmosphère aux minutes de 1.0×10-3 Pa≤15 (la température ambiante, sèche, nettoient et vident la chambre)

4. Source de dépôt : Cathodes de pulvérisation de magnétron de Gencoa, cathodes orientées d'arc, source d'ions

5. Modèle fonctionnant : Plein automatiquement /Semi-Auto/ manuellement

6. Chauffage : de la température ambiante jusqu'au maximum 500℃,

9. Source d'ions pour le processus de PECVD et de PA PVD.

• Structure

La machine de métallisation sous vide contient le système de clé accompli énuméré ci-dessous :

1. Puits à dépression
1,1 taille : Profondeur intérieure 950mm

Taille intérieure : 1350mm

1,2 matériel : Puits à dépression SUS304

Porte et brides SUS304

La chambre renforcent la structure : Acier SS41 doux, avec la préparation de surface de finition peinte.

Acier doux du châssis SS41 de chambre avec la préparation de surface de finition peinte.

1,3 bouclier de chambre : SUS304

1,4 fenêtre de vue : sur des portes de chambre -2

1,5 clapet de mise à l'air libre de puits à dépression (silencieux y compris)

1,6 porte : 2 ensembles, avants et dos, matériel SUS304

2. Système de pompage de vide de dégrossissage :
Pompe à vide de palette rotatoire d'huile + tenant la pompe

3. Système de pompage de vide poussé :

Pompe moléculaire de Turbo - 2 ensembles

4. Système électrique de ScreenOperation de contact du système de commande et d'opération PLC+ :

Fournisseurs :

PLC : Mitsubishi, modèle : SÉRIE FX-IN60MR-001

Composants électroniques : SCHNEIDER, OMRON.

Système protecteur de sécurité : Contacts de sécurité nombreux pour protéger les opérateurs et l'équipement (l'eau, gaz actuel, température etc.)

Le revêtement traite le système : Automatisation des processus et contrôle. Automatiquement économisé dans la mémoire pendant 3 mois. Données de revêtement décrites de recettes : le courant d'opération de cible/tension, écoulement de la masse, pression de vide, la température, des périodes de revêtement sont sauvés pour qu'une analyse augmente la qualité de revêtements.

4,1 circuit de canalisation : commutateur de briseur d'Aucun-fusible, commutateur électromagnétique, type de C/T en série

4,2 alimentation d'énergie : Puissance d'arc de puissance + de C.C de pulvérisation de MF + alimentation d'énergie polarisée

4,3 système de contrôle de dépôt

4,4 système d'opération : Écran tactile + PLC, contrôle de recette et enregistrement de données, arrêt automatique, évacuation automatique, revêtement automatique

4,5 système de mesure

Pression de vide : Mesure de vide : Pirani + parquant la mesure + mesure de vide de gamme complète -- Marque de l'Europe

Appareil de mesure de la température : Thermocouple
Cpc : Contrôleur d'écoulement de la masse (4 manières),

4,6 système d'alarme : Pression d'air comprimé, écoulement d'eau de refroidissement, Mis-opération

4,7 indicateur de charge de puissance : Indicateur de tension et indicateur de courant de charge

5. système de dépôt

5,1 source de dépôt : Sources d'arc de la pulvérisation cathodes+ + source d'ions

5,2 matériel de dépôt : ITO, titane, Chrome, aluminium, acier inoxydable, TiAl etc.

6. Sous-système

6,1 système de contrôle comprimé de valve d'air

6,2 circuit de refroidissement de refroidissement : Système de valve de tuyau et de commutateur d'écoulement d'eau

7. Environnement de travail

Air comprimé : 5~8kg/cm2

L'eau de refroidissement : Eau-dans la température : 20~25℃, 200 litres/minute,
Eau-dans la pression : 2~3 kg/cm2,

Puissance : 3 phase 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, puissance moyen : 60KW

Région d'installation : (L*W*H) 4400*3200*2950mm

Échappement : Conduit pour les pompes mécaniques

Applications

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