Metallizer de vide de CsI d'équipement de dépôt en métal de vide de haute performance par le creuset thermique

Équipement de dépôt en métal de vide de haute performance, metallizer de vide de CsI par le creuset thermique

Mots-clés : haute résolution, CsI : T1 ; films minces de scintillator ; Représentation de rayon X ; méthode de métallisation sous vide, courrier-dépôt de couche de carbone

Le dépôt de la couche mince de CsI pour des dispositifs imageurs de rayon X est une technique avancée pour évaporer CsI sur l'écran pour donner un de haute qualité de la représentation. Avec sa représentation de haute résolution, aussi très utilisée dans la vérification et l'inspection de sécurité, les sujets de physique des hautes énergies, la physique des secteurs etc. d'énergie nucléaire.

Le procédé de protection thermique de l'évaporation RTEP0913 a été développé pour le dépôt de film de CsI sur la représentation de rayon X dans l'environnement de pression de vide poussé. Les scintillators de T1 de CsI s'étendant du μm 2 au μm 14 d'épaisseur. Le film de couche de carbone peut être considéré comme comme courrier-dépôt pour améliorer des hautes résolutions.

Représentation et caractérisations de métallisation sous vide de l'iodure de césium (T1 de CsI)

• Résolution spatiale élevée Ultra- de la représentation ;
• Réponse rapide pour une représentation plus pointue ;
• Principaux secteurs d'image de bord-à-bord de classe ;
• Optique absorbez les couches ou les couches de réflecteur ;
• Basse dose patiente de rayon X ;
• Approprié aux dispositifs de CCD et de CMOS, particulièrement dans des industries médicales.

Type :

l orientation verticale, cylindre, 1 porte, ouverture avant.

Caractéristiques de conception :

l pression finale ultra-haute de vide : jusqu'à la PA 9.0*10-5 ;

l de chauffage dispositifs rapides pour une bonne adhérence ;

l sélection appropriée de pompe à vide et système de pompage élevés à éviter de mettre en danger matériel exposé dans le ciel ;

procédé robuste, compact et solide de l de protection ;

l de forte stabilité, travaillant 960 heures sans arrêt.

l dispositif de contrôleur d'épaisseur de film d'Inficon pour surveiller l'épaisseur de film en ligne.

l exclusivement creusets conçoivent et sélection pour le dépôt de CsI.

l substrats enduisant, taille maximale : 500*500mm

l a avancé des concepts de construction de support peut charger des substrats de 2 morceaux par groupe, augmentent fortement la sortie de production.

Spécifications techniques :

l représentation

1. pression finale de vide :  meilleur que la PA 9.0*10-5 ;

2. pression fonctionnante de vide : PA 6,0*10-4 | PA9,0*10-4 ;

Pression basse de vide : PA 3,0*10-4

3. Temps d'arrêt de pompage :  de ≤ de la PA 1 atmosphère à 2,0×10-325 chambres de minutes (température ambiante, sec, propre et vide)

4. Source de dépôt : évaporation thermique de creuset de quartz

5. Modèle fonctionnant :  Complètement automatiquement /Semi-Auto/ manuellement

6. Chauffage : de la température ambiante jusqu'à 1000℃ maximal,
Substrat en verre de TFT réchauffant le temps : de 0~250℃<40mins>

7. Taux de dépôt de CsI :  0~100nm/sec

8. CsI : Épaisseur de film T1 : jusqu'à 600μm

l structure

La machine de métallisation sous vide contient accompli le système principal énuméré ci-dessous :

1. Puits à dépression
1,1 taille :  Diamètre intérieur 900millimètres

Taille intérieure : 1300 millimètres

1,2 matériel :  Puits à dépression SUS304

Porte et brides SUS304

La chambre renforcent la structure : Acier SS41 doux, avec la préparation de surface de finition peinte.

Acier doux du châssis SS41 de chambre avec la préparation de surface de finition peinte.

1,3 bouclier d'évaporation :  SUS304

1,4 fenêtre de vue : sur la porte de chambre

1,5 clapet de mise à l'air libre de puits à dépression (silencieux y compris)

1,6 porte :  Matériel SUS304

2. Système de pompage de vide de dégrossissage :
La pompe à vide + les racines de palette rotatoires d'huile pompent (l'Allemagne Pfeiffer)

 

3. système de pompage de vide poussé :

Pompe moléculaire de suspension magnétique (Allemagne Pfeiffer)

4. Écran tactile électrique du système de commande et d'opération PLC+

4,1 circuit principal : commutateur de briseur d'Aucun-fusible, commutateur électromagnétique, type de C/T en série

4,2 puissance d'évaporation

4,3 système de contrôle d'évaporation

4,4 système d'opération :  Écran tactile + PLC, contrôle de recette et enregistrement de données, arrêt automatique, évacuation automatique, revêtement automatique

4,5 système de mesure

Pression de vide : Mesure de vide : Pirani + parquant la mesure + mesure de vide de gamme complète

Appareil de mesure de la température : Thermocouple

Contrôleur d'épaisseur de film : Marque d'Inficon, SQC-310
    

4,6 système d'alarme :  Pression d'air comprimé, écoulement d'eau de refroidissement, Mis-opération

4,7 indicateur de charge de puissance :  Indicateur de tension et indicateur actuel de charge

5. système de dépôt

5,1 source de dépôt :  creuset de quartz

5,2 matériel de dépôt : CsI, carbone

6. Sous-système

6,1 système de contrôle comprimé de valve d'air

6,2 circuit de refroidissement de refroidissement : Système de valve de tuyau et de commutateur d'écoulement d'eau

Environnement de travail

Air comprimé :  5~8kg/cm2

L'eau de refroidissement :  Eau-dans la température :  20~25℃, 200 litres/minute,
Eau-dans la pression : 2~3 kg/cm2,

Puissance : 3 phase 380V 50Hz (60Hz), 65KVAs, puissance moyen : 30KW

Région d'installation :  (L*W*H) 3000*200*2300millimètres

Échappement : Conduit pour les pompes mécaniques

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