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Système à haute densité de dépôt de pulvérisation de magnétron pour le film hydrophobe de composition, machine de pulvérisation de PECVD

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MOQ
negotiable
Prix
Système à haute densité de dépôt de pulvérisation de magnétron pour le film hydrophobe de composition, machine de pulvérisation de PECVD
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Caractéristiques
Sources de dépôt: L'équilibre/a déséquilibré magnétique fermé classé
Applications: Des véhicules à moteur, semi-conducteur, enduisant sic, dépôt de film de DLC,
épaisseur de film: Étendez-vous de 100 nanomètre à 12μm, la tolérance ±5% d'épaisseur
Emplacement d'usine: Ville de Changhaï, Chine
Emplacement d'usine: Ville de Changhaï, Chine
Service mondial: La Pologne - l'Europe ; L'Iran Asie et Moyen-Orient occidentaux, Turquie, Inde, Mexique Amérique du
Service mondial: La Pologne - l'Europe ; L'Iran Asie et Moyen-Orient occidentaux, Turquie, Inde, Mexique Amérique du
Service formation: Opération de machine, entretien, recettes de processus de revêtement, programme
Service formation: Opération de machine, entretien, recettes de processus de revêtement, programme
Garantie: Garantie limitée 1 an pour libre, vie entière pour la machine
OEM ET ODM: disponibles, nous soutenons la conception et la fabrication sur mesure
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Surligner:

silver plating machine

,

ion plating system

Informations de base
Lieu d'origine: Fabriqué en Chine
Nom de marque: ROYAL
Certification: CE certification
Numéro de modèle: RTSP1200
Conditions de paiement et expédition
Détails d'emballage: Exportez la norme, pour être emballé dans de nouveaux caisses/cartons, appropriés à l'océan/à air de
Délai de livraison: 16 semaines
Conditions de paiement: L/C, A/D, D/P, T/T
Capacité d'approvisionnement: 6 ensembles par mois
Description de produit

                  Film hydrophobe de composition et autres films fonctionnels pulvérisant le système de dépôt

 

 

Applications :

 

La machine RTSP1213 est un système modèle de pulvérisation en lots, revêtements durs de gisements de boîte de divers, des revêtements mous, des films composés et des pellicules lubrifiantes solides sur les substrats métalliques et non métalliques de matériaux. Appliqué aux industries des véhicules de Fuel Cell d'hydrogène, des produits de photonics, de l'espace et d'autres nouvelles industries énergétiques.

 

Propriétés :

 

Pour améliorer la conductivité de la surface ;

 Résistance à la corrosion élevée ;

 Résistance à l'usure élevée ;

 Dureté élevée

 Film hydrophobe de composition et d'autres films fonctionnels

Disponible pour les revêtements composés : films métalliques et non métalliques.

Gamme d'épaisseur de film de 100nm à 12μm, tolérance ±5% d'épaisseur
 Adhérence forte.

 Bas traitement durcissant extérieur de gâchage de pièces.

 

Type :

 

Orientation verticale, structure de polyèdre, 2 portes (avant et dos)

 

Caractéristiques :

  • Système favorable à l'environnement, aucune pollution acoustique des eaux usées de déchets industriels, d'air et ;
  • Opération facile : Écran tactile + contrôle de PLC et logiciel unique pour une opération de contact, alarme de dépannages plus de 80%.
  • Ouverture de traitement et support de jusqu'à 10 recettes ; répétabilité et diversité élevées.
  • Conception spéciale de système de carrousel pour l'uniformité élevée du dépôt de film.
  • Hauts productivité et de haute qualité
  • Système stable et fiable, courant 365 jours * 24hrs (entretien et réparation cassant le temps)
  • Système de pompage d'efficacité : lignes sifflantes de vide plus court pour la vitesse sifflante maximum avec les pompes bien connues de marque de l'Europe
  • Le design compact occupent l'espace minimum d'installation.

 

Spécifications techniques

 

  • Représentation

1. Pression finale de vide : améliorez que la PA 8.0*10-5 ;

  • Basez la pression de vide : PA 3.0*10-4

3. Temps d'arrêt de pompage : de l'atmosphère aux minutes de 1.0×10-3 Pa≤15 (la température ambiante, sèche, nettoient et vident la chambre)

4. Source de dépôt : équilibré/a déséquilibré des cathodes de pulvérisation

5. Modèle fonctionnant : Plein automatiquement /Semi-Auto/ manuellement

6. Chauffage : de la température ambiante jusqu'au maximum 450℃,

7. Nettoyage de plasma et dépôt d'aide de plasma : Source d'ions linéaire d'anode

8. Boucle fermée magnétique classée. (Cathodes de déséquilibre/équilibre)

9. Alimentation d'énergie polarisée pour la décharge de lueur.

  • Structure

La machine de métallisation sous vide contient le système de clé accompli énuméré ci-dessous :

 

1. Puits à dépression
1,1 taille : Diamètre intérieur 1200mm

Taille intérieure : 1300mm

1,2 matériel : Puits à dépression SUS304

Porte et brides SUS304

La chambre renforcent la structure : Acier SS41 doux, avec la préparation de surface de finition peinte.

Acier doux du châssis SS41 de chambre avec la préparation de surface de finition peinte.

1,3 bouclier de pulvérisation : SUS304

1,4 fenêtre de vue : sur la porte de chambre - 4 ensembles (2 sur chaque porte)

1,5 clapet de mise à l'air libre de puits à dépression (silencieux y compris)

1,6 porte : Matériel SUS304

 

2. Système de pompage de vide de dégrossissage :


Pompe rotatoire de la pompe à vide de palette d'huile +Roots + tenant la pompe (Leybold)

 

3. Système de pompage de vide poussé :

 

Pompe moléculaire de suspension magnétique (Leybold)

  • Soupapes à vanne - 2 ensembles

4. Écran tactile électrique du système de commande et d'opération PLC+

 

4,1 circuit de canalisation : commutateur de briseur d'Aucun-fusible, commutateur électromagnétique, type de C/T en série

4,2 alimentation d'énergie de source d'ions d'alimentation + d'énergie de pulvérisation + alimentation d'énergie polarisée (énergie avancée)

4,3 système de contrôle de dépôt de pulvérisation

4,4 système d'opération : Écran tactile + PLC, contrôle de recette et enregistrement de données, arrêt automatique, évacuation automatique, revêtement automatique

4,5 système de mesure

Pression de vide : Mesure de vide : Pirani + parquant la mesure + mesure de vide de gamme complète -- Marque de l'Europe

Appareil de mesure de la température : Thermocouple
Cpc : Contrôleur d'écoulement de la masse (4 manières), mode d'affichage numérique-- Marque de l'Europe

4,6 système d'alarme : Pression d'air comprimé, écoulement d'eau de refroidissement, Mis-opération

4,7 indicateur de charge de puissance : Indicateur de tension et indicateur de courant de charge

 

5. système de dépôt

5,1 source de dépôt : Cathodes de pulvérisation, source d'ions -- Marque de l'Europe

5,2 matériel de dépôt : Cible de carbone

 

6. Sous-système

6,1 système de contrôle comprimé de valve d'air

6,2 circuit de refroidissement de refroidissement : Système de valve de tuyau et de commutateur d'écoulement d'eau

 

environnement 7.Working

Air comprimé : 5~8kg/cm2

L'eau de refroidissement : Eau-dans la température : 20~25℃, 200 litres/minute,
Eau-dans la pression : 2~3 kg/cm2,

 

Puissance : 3 phase 380V 50Hz (60Hz), 75kVA, puissance moyen : 40KW

Région d'installation : (L*W*H) 3000*4000*3200mm

Échappement : Conduit pour les pompes mécaniques

 

Système à haute densité de dépôt de pulvérisation de magnétron pour le film hydrophobe de composition, machine de pulvérisation de PECVD 0

 

 

Veuillez nous contacter avec plus de caractéristiques, technologie royale est honoré pour te fournir les solutions totales de revêtement.

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