IEM protégeant l'équipement de métallisation sous vide de la couche mince, vide métallisant la machine, dépôt de pulvérisation d'acier inoxydable

                               Électro interférence magnétique (EMI) protégeant Metalizer

Résumé :

Le vide de RTEP1616-SP métallisant la machine est particulièrement conçu pour l'IEM protégeant le dépôt de la couche mince et de fillm de NCVM, qui très utilisé dans des dispositifs de télécommunication, des ordinateurs, des carnets, l'électronique grand public, des articles d'appareil, aérospatiaux et militaires ménagers.

Nos clients sont : Sumgsung, Apple, Lenovo, l'électronique de Huawei fabrique.

Le diamètre 1600mm de taille de chambre et la taille 1600mm peuvent adapter à un grand choix de produits.

IEM protégeant des propriétés de film

1) Épaisseur de film : 1,5 | 3 microns dépend de la condition.

2) Résistance de film : (ohm) meilleur que 0.5Ω

3) Adhérence : bande 3M810 > 5B

IEM protégeant le processus de revêtement de film

4) C.C pulvérisant l'acier inoxydable

5) Dépôt de cuivre par évaporation thermique

6) C.C pulvérisant l'acier inoxydable, pleine couverture sur la couche de film de Cu.

Électro interférence magnétique protégeant des caractéristiques de Metalizer

1) structure 2-door et vitesse de pompage rapide pour une productivité élevée
2) panneau amical fonctionnant d'écran tactile avec le contrôle de PLC

3)Conception de programme de logiciel d'humanité pour la production stable et de haute qualité amicaux.

4) Le taux d'utilisation élevé de cible de pulvérisation assurent un bas coût de production.

5) Bonne uniformité et excellente adhérence

6) Concept de construction avancé pour qu'une meilleure représentation augmente l'efficacité de production et le taux qualifié.

7) Dispositif de source d'ions pour que le traitement d'activité de nettoyage et de surface de plasma améliore l'adhérence.

Vide de PVD métallisant des avantages :

Des finitions sont déposées utilisant un processus vert favorable à l'environnement, pollution librement ;
Rendement élevé et excellente uniformité.
Production à fort débit, coût bas, solution idéale pour la demande de production en série.

Type :

• Orientation verticale, cylindre, structure de 2 portes, ouverture avant.

Spécifications techniques :

• Représentation

1. Pression finale de vide : améliorez que les torr 5.0×10-6.

2. Pression fonctionnante de vide : Torr 1.0×10-4

3. Temps d'arrêt de pompage : de 1 atmosphère aux minutes de 1.0×10-4 Torr≤5 (la température ambiante, sèche, nettoient et vident la chambre)

4. Métallisation du matériel (évaporation) : Acier inoxydable, cuivre

5. Modèle fonctionnant : Plein automatiquement /Semi-Auto/ manuellement

• Structure

La machine de métallisation sous vide contient le système de clé accompli énuméré ci-dessous :

1. Puits à dépression

1,1 taille : Diamètre intérieur 1600mm

Taille intérieure : 1600mm

Taille utile : 1265mm

Taille totale : 1420mm

1,2 matériaux : Puits à dépression SUS304

Porte et brides SUS304

La chambre renforcent la structure : Acier SS41 doux, avec la préparation de surface de finition peinte.

Acier doux du châssis SS41 de chambre avec la préparation de surface de finition peinte.

Bouclier de pulvérisation et d'évaporation de 1,3 : SUS304

1,4 fenêtre de vue : sur des portes de chambre

1,5 clapet de mise à l'air libre de puits à dépression (silencieux y compris)

1,6 porte : SUS304 taille intérieure matérielle du diamètre 1600mm : 1600mm

1,7 système d'entraînement de dépôt : Maximum moteur central 1400mm*1265mm

1,8 moteur d'entraînement : 1/2HP

1,9 puissance d'évaporation : 1 ensemble/porte

Puissance de pulvérisation de C.C : 1 ensemble

Taille de cathode de pulvérisation : 125*1400mm

2. Système de pompage de vide de Rouhging

2,1 pompe à vide rotatoire de palette scellée par huile - Leybold

a : Vitesse de pompage : ³ /hr de 640 m

2,2 pompe de racines - Leybold

a : Vitesse de pompage : ³ /hr de 4400 m

2,3 valve de vide Roughing : modèle pneumatique

2,4 ligne sifflante de vide : 6" et 8" matériel SUS304

2,5 clapet de mise à l'air libre de vide : 3/8" modèle électromagnétique

3. Système de pompage de vide poussé

3,1 pompe de diffusion d'huile : RTDP-36

a. Vitesse de pompage : 40000L/S

b. Pression finale de vide : améliorez que 10^-7 torr.

c. Puissance de chauffage : 3Phase, 21KW.

d. Consommation pétrolière : 9 litres

3,2 piège froid : 36", refroidissement par l'eau contre le dos de courant d'huile

3,3 valve sous vide poussé : pneumatique

valve du l'Avant-line 3,4 : pneumatique

4. Système de commande électrique et d'opération

4,1 circuit de canalisation : commutateur de briseur d'Aucun-fusible, commutateur électromagnétique,
Type de C/T en série

4,2 puissance d'évaporation

4,3 système de contrôle d'évaporation

4,4 puissance de pulvérisation, modèle de C.C

4,5 système de contrôle : Automobile d'écran de PLC +Touch/manuellement

4,6 système d'opération : Écran tactile + affichage

4,7 système de mesure de pression de vide

Mesure de vide : Ensemble du centre de Leybold deux – 1

Mesure de gamme complète : 760 torr | 10^-7 torr – 1 ensemble

4,8 système d'alarme :

La pression d'air comprimé est inférieure : bruit d'alarme

L'écoulement d'eau de refroidissement est inférieur : bruit d'alarme

Mis-opération : bruit d'alarme

4,9 indicateur de charge de puissance : Indicateur de tension et indicateur de courant de charge

5. Sous-système

5,1 système de contrôle comprimé de valve d'air

5,2 circuit de refroidissement de refroidissement : Système de valve de tuyau et de commutateur d'écoulement d'eau

5,3 Polycold (- 120~-145℃) Cryopump – 1 ensemble

Modèle : MaxCool- 2500L

Charge maximum : : 2500W

Vitesse de pompage : 14000L/S.

6. Système de dépôt

6,1 source de pulvérisation

a. Cible » ensemble de 125mm*1400mm* 12~14mm - 1 de pulvérisation

b. Volet – 1 ensemble

c. Contrôleur d'écoulement de la masse : L'AR intoxiquent – 1 ensemble

d. Alimentation d'énergie de pulvérisation : C.C 60KW – 1 ensemble

6,2 sources d'évaporation

a. Sources d'évaporation de tungstène

b. Alimentation d'énergie d'évaporation : 20kVA

c. Dispositif de source d'ions et alimentation d'énergie

7. Environnement de travail

Air comprimé : 5~8kg/cm2

L'eau de refroidissement : Eau-dans la température : 20~25℃, 200 litres/minute,
Eau-dans la pression : 2~3 kg/cm2

Puissance : 3 phase 380V 50Hz (60Hz), 160kVA

Région d'installation : (L*W*H) 6500*5500*2700mm

Échappement : Conduit pour les pompes mécaniques

Nous avons été essayons de concevoir et développer les processus de revêtement les plus appropriés pour différentes pièces 3D, qui répondent à nos exigences de production de client. Ainsi nous fournissons les solutions totales de revêtement pour le revêtement d'IEM.

Si le procédé de protection adapté aux besoins du client est exigé, partagez svp vos pensées et idées avec notre équipe et soumettez vos caractéristiques de produits, nous travaillera ensemble pour trier les meilleures solutions.

Veuillez nous contacter avec plus de caractéristiques, technologie royale est honoré pour te fournir les solutions totales de revêtement.