Électro interférence magnétique (EMI) protégeant Metalizer
Résumé :
Le vide de RTEP1616-SP métallisant la machine est particulièrement conçu pour l'IEM protégeant le dépôt de la couche mince et de fillm de NCVM, qui très utilisé dans des dispositifs de télécommunication, des ordinateurs, des carnets, l'électronique grand public, des articles d'appareil, aérospatiaux et militaires ménagers.
Nos clients sont : Sumgsung, Apple, Lenovo, l'électronique de Huawei fabrique.
Le diamètre 1600mm de taille de chambre et la taille 1600mm peuvent adapter à un grand choix de produits.
IEM protégeant des propriétés de film
1) Épaisseur de film : 1,5 | 3 microns dépend de la condition.
2) Résistance de film : (ohm) meilleur que 0.5Ω
3) Adhérence : bande 3M810 > 5B
IEM protégeant le processus de revêtement de film
4) C.C pulvérisant l'acier inoxydable
5) Dépôt de cuivre par évaporation thermique
6) C.C pulvérisant l'acier inoxydable, pleine couverture sur la couche de film de Cu.
Électro interférence magnétique protégeant des caractéristiques de Metalizer
1) structure 2-door et vitesse de pompage rapide pour une productivité élevée
2) panneau amical fonctionnant d'écran tactile avec le contrôle de PLC
3)Conception de programme de logiciel d'humanité pour la production stable et de haute qualité amicaux.
4) Le taux d'utilisation élevé de cible de pulvérisation assurent un bas coût de production.
5) Bonne uniformité et excellente adhérence
6) Concept de construction avancé pour qu'une meilleure représentation augmente l'efficacité de production et le taux qualifié.
7) Dispositif de source d'ions pour que le traitement d'activité de nettoyage et de surface de plasma améliore l'adhérence.
Vide de PVD métallisant des avantages :
Des finitions sont déposées utilisant un processus vert favorable à l'environnement, pollution librement ;
Rendement élevé et excellente uniformité.
Production à fort débit, coût bas, solution idéale pour la demande de production en série.
Type :
Spécifications techniques :
1. Pression finale de vide : améliorez que les torr 5.0×10-6.
2. Pression fonctionnante de vide : Torr 1.0×10-4
3. Temps d'arrêt de pompage : de 1 atmosphère aux minutes de 1.0×10-4 Torr≤5 (la température ambiante, sèche, nettoient et vident la chambre)
4. Métallisation du matériel (évaporation) : Acier inoxydable, cuivre
5. Modèle fonctionnant : Plein automatiquement /Semi-Auto/ manuellement
La machine de métallisation sous vide contient le système de clé accompli énuméré ci-dessous :
1. Puits à dépression
1,1 taille : Diamètre intérieur 1600mm
Taille intérieure : 1600mm
Taille utile : 1265mm
Taille totale : 1420mm
1,2 matériaux : Puits à dépression SUS304
Porte et brides SUS304
La chambre renforcent la structure : Acier SS41 doux, avec la préparation de surface de finition peinte.
Acier doux du châssis SS41 de chambre avec la préparation de surface de finition peinte.
Bouclier de pulvérisation et d'évaporation de 1,3 : SUS304
1,4 fenêtre de vue : sur des portes de chambre
1,5 clapet de mise à l'air libre de puits à dépression (silencieux y compris)
1,6 porte : SUS304 taille intérieure matérielle du diamètre 1600mm : 1600mm
1,7 système d'entraînement de dépôt : Maximum moteur central 1400mm*1265mm
1,8 moteur d'entraînement : 1/2HP
1,9 puissance d'évaporation : 1 ensemble/porte
Puissance de pulvérisation de C.C : 1 ensemble
Taille de cathode de pulvérisation : 125*1400mm
2. Système de pompage de vide de Rouhging
2,1 pompe à vide rotatoire de palette scellée par huile - Leybold
a : Vitesse de pompage : ³ /hr de 640 m
2,2 pompe de racines - Leybold
a : Vitesse de pompage : ³ /hr de 4400 m
2,3 valve de vide Roughing : modèle pneumatique
2,4 ligne sifflante de vide : 6" et 8" matériel SUS304
2,5 clapet de mise à l'air libre de vide : 3/8" modèle électromagnétique
3. Système de pompage de vide poussé
3,1 pompe de diffusion d'huile : RTDP-36
a. Vitesse de pompage : 40000L/S
b. Pression finale de vide : améliorez que 10-7 torr.
c. Puissance de chauffage : 3Phase, 21KW.
d. Consommation pétrolière : 9 litres
3,2 piège froid : 36", refroidissement par l'eau contre le dos de courant d'huile
3,3 valve sous vide poussé : pneumatique
valve du l'Avant-line 3,4 : pneumatique
4. Système de commande électrique et d'opération
4,1 circuit de canalisation : commutateur de briseur d'Aucun-fusible, commutateur électromagnétique,
Type de C/T en série
4,2 puissance d'évaporation
4,3 système de contrôle d'évaporation
4,4 puissance de pulvérisation, modèle de C.C
4,5 système de contrôle : Automobile d'écran de PLC +Touch/manuellement
4,6 système d'opération : Écran tactile + affichage
4,7 système de mesure de pression de vide
Mesure de vide : Ensemble du centre de Leybold deux – 1
Mesure de gamme complète : 760 torr | 10-7 torr – 1 ensemble
4,8 système d'alarme :
La pression d'air comprimé est inférieure : bruit d'alarme
L'écoulement d'eau de refroidissement est inférieur : bruit d'alarme
Mis-opération : bruit d'alarme
4,9 indicateur de charge de puissance : Indicateur de tension et indicateur de courant de charge
5. Sous-système
5,1 système de contrôle comprimé de valve d'air
5,2 circuit de refroidissement de refroidissement : Système de valve de tuyau et de commutateur d'écoulement d'eau
5,3 Polycold (- 120~-145℃) Cryopump – 1 ensemble
Modèle : MaxCool- 2500L
Charge maximum : : 2500W
Vitesse de pompage : 14000L/S.
6. Système de dépôt
6,1 source de pulvérisation
a. Cible » ensemble de 125mm*1400mm* 12~14mm - 1 de pulvérisation
b. Volet – 1 ensemble
c. Contrôleur d'écoulement de la masse : L'AR intoxiquent – 1 ensemble
d. Alimentation d'énergie de pulvérisation : C.C 60KW – 1 ensemble
6,2 sources d'évaporation
a. Sources d'évaporation de tungstène
b. Alimentation d'énergie d'évaporation : 20kVA
c. Dispositif de source d'ions et alimentation d'énergie
7. Environnement de travail
Air comprimé : 5~8kg/cm2
L'eau de refroidissement : Eau-dans la température : 20~25℃, 200 litres/minute,
Eau-dans la pression : 2~3 kg/cm2
Puissance : 3 phase 380V 50Hz (60Hz), 160kVA
Région d'installation : (L*W*H) 6500*5500*2700mm
Échappement : Conduit pour les pompes mécaniques
Nous avons été essayons de concevoir et développer les processus de revêtement les plus appropriés pour différentes pièces 3D, qui répondent à nos exigences de production de client. Ainsi nous fournissons les solutions totales de revêtement pour le revêtement d'IEM.
Si le procédé de protection adapté aux besoins du client est exigé, partagez svp vos pensées et idées avec notre équipe et soumettez vos caractéristiques de produits, nous travaillera ensemble pour trier les meilleures solutions.
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