Unités en alliage de zinc de métallisation sous vide de pulvérisation de magnétron de poignée de porte : C.C, MF, cathodes de pulvérisation de rf pour le but de R&D peut obtenir la couche unitaire, le film diélectrique, le film composé, le semi-conducteur, les couches multiples, le film composé, et les films etc. de diélectrique
Représentation technique de porte de poignée de magnétron de pulvérisation d'unités en alliage de zinc de métallisation sous vide :
1 pression finale de vide : améliorez que les torr 5.0×10-6.
2. Pression fonctionnante de vide : Torr 1.0×10-4.
3. Temps de Pumpingdown : de 1 atmosphère à 1.0×10-4 Torr≤ 3 minutes (la température ambiante, sèche, nettoient et vident la chambre)
4. Métallisant Al, le Cr, le Sn, le Ti, les solides solubles, le Cu (de pulvérisation) matériels… etc.
5. Modèle fonctionnant : Plein automatiquement /Semi-Auto/ manuellement
Structure en alliage de zinc d'unités de métallisation sous vide de pulvérisation de magnétron de poignée de porte
1. Puits à dépression
2. Système de pompage de vide de Rouhging (paquet de pompe de support)
3. Système de pompage de vide poussé (pompe de diffusion)
4. Système de commande électrique et d'opération
5. Système d'installation d'Auxiliarry (sous-système)
6. Système de dépôt
