Nom De Marque: | ROYAL |
Numéro De Modèle: | RTSP1213 |
MOQ: | 1 jeu |
Prix: | négociable |
Conditions De Paiement: | L/C, A/D, D/P, T/T |
Capacité à Fournir: | 6 ensembles par mois |
Photonics pulvérisent le système de dépôt pour le film hydrophobe de composition et d'autres films fonctionnels
Applications :
La machine RTSP1213 est un système modèle de pulvérisation en lots, revêtements durs de gisements de boîte de divers, des revêtements mous, des films composés et des pellicules lubrifiantes solides sur les substrats métalliques et non métalliques de matériaux. Appliqué aux industries des véhicules de Fuel Cell d'hydrogène, des produits de photonics, de l'espace et d'autres nouvelles industries énergétiques.
Propriétés :
Pour améliorer la conductivité de la surface ;
Résistance à la corrosion élevée ;
Résistance à l'usure élevée ;
Dureté élevée
Film hydrophobe de composition et d'autres films fonctionnels
Disponible pour les revêtements composés : films métalliques et non métalliques.
Gamme d'épaisseur de film de 100nm à 12μm, tolérance ±5% d'épaisseur
Adhérence forte.
Bas traitement durcissant extérieur de gâchage de pièces.
Type :
Orientation verticale, structure de polyèdre, 2 portes (avant et dos)
Caractéristiques :
Spécifications techniques
1. Pression finale de vide : améliorez que la PA 8.0*10-5 ;
3. Temps d'arrêt de pompage : de l'atmosphère aux minutes de 1.0×10-3 Pa≤15 (la température ambiante, sèche, nettoient et vident la chambre)
4. Source de dépôt : équilibré/a déséquilibré des cathodes de pulvérisation
5. Modèle fonctionnant : Plein automatiquement /Semi-Auto/ manuellement
6. Chauffage : de la température ambiante jusqu'au maximum 450℃,
7. Nettoyage de plasma et dépôt d'aide de plasma : Source d'ions linéaire d'anode
8. Boucle fermée magnétique classée. (Cathodes de déséquilibre/équilibre)
9. Alimentation d'énergie polarisée pour la décharge de lueur.
La machine de métallisation sous vide contient le système de clé accompli énuméré ci-dessous :
1. Puits à dépression
1,1 taille : Diamètre intérieur 1200mm
Taille intérieure : 1300mm
1,2 matériel : Puits à dépression SUS304
Porte et brides SUS304
La chambre renforcent la structure : Acier SS41 doux, avec la préparation de surface de finition peinte.
Acier doux du châssis SS41 de chambre avec la préparation de surface de finition peinte.
1,3 bouclier de pulvérisation : SUS304
1,4 fenêtre de vue : sur la porte de chambre - 4 ensembles (2 sur chaque porte)
1,5 clapet de mise à l'air libre de puits à dépression (silencieux y compris)
1,6 porte : Matériel SUS304
2. Système de pompage de vide de dégrossissage :
Pompe rotatoire de la pompe à vide de palette d'huile +Roots + tenant la pompe (Leybold)
3. Système de pompage de vide poussé :
Pompe moléculaire de suspension magnétique (Leybold)
4. Écran tactile électrique du système de commande et d'opération PLC+
4,1 circuit de canalisation : commutateur de briseur d'Aucun-fusible, commutateur électromagnétique, type de C/T en série
4,2 alimentation d'énergie de source d'ions d'alimentation + d'énergie de pulvérisation + alimentation d'énergie polarisée (énergie avancée)
4,3 système de contrôle de dépôt de pulvérisation
4,4 système d'opération : Écran tactile + PLC, contrôle de recette et enregistrement de données, arrêt automatique, évacuation automatique, revêtement automatique
4,5 système de mesure
Pression de vide : Mesure de vide : Pirani + parquant la mesure + mesure de vide de gamme complète -- Marque de l'Europe
Appareil de mesure de la température : Thermocouple
Cpc : Contrôleur d'écoulement de la masse (4 manières), mode d'affichage numérique-- Marque de l'Europe
4,6 système d'alarme : Pression d'air comprimé, écoulement d'eau de refroidissement, Mis-opération
4,7 indicateur de charge de puissance : Indicateur de tension et indicateur de courant de charge
5. système de dépôt
5,1 source de dépôt : Cathodes de pulvérisation, source d'ions -- Marque de l'Europe
5,2 matériel de dépôt : Cible de carbone
6. Sous-système
6,1 système de contrôle comprimé de valve d'air
6,2 circuit de refroidissement de refroidissement : Système de valve de tuyau et de commutateur d'écoulement d'eau
environnement 7.Working
Air comprimé : 5~8kg/cm2
L'eau de refroidissement : Eau-dans la température : 20~25℃, 200 litres/minute,
Eau-dans la pression : 2~3 kg/cm2,
Puissance : 3 phase 380V 50Hz (60Hz), 75kVA, puissance moyen : 40KW
Région d'installation : (L*W*H) 3000*4000*3200mm
Échappement : Conduit pour les pompes mécaniques
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