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| Nom De Marque: | ROYAL |
| Numéro De Modèle: | RTSP |
| MOQ: | 1 jeu |
| Capacité à Fournir: | 10 jeux par mois |
Machine de revêtement par pulvérisation PVD au tantale, films de tantale déposés par pulvérisation par magnétron DC, plaquage au tantale PVD
Le tantale est le plus largement utilisé dans l'industrie électronique et comme revêtement protecteur dans de nombreuses industries en raison de sa bonne résistance à l'érosion.
Les films de tantale pulvérisés sont largement utilisés dans le
1- l'industrie de la microélectronique, les films pouvant être pulvérisés de manière réactive et contrôler ainsi la résistivité et le coefficient de température de la résistance;
2Des instruments médicaux tels que des implants corporels pour sa propriété de biocompatibilité élevée;
3. revêtements sur des pièces résistantes à la corrosion, telles que des thermocouples, des corps de vannes et des fixations;
Le tantale pulvérisé peut également être utilisé comme une barrière de résistance à la corrosion efficace si le revêtement est continu, défectueux et adhère au substrat..
RTAS1000 Avantages techniques
1. Plug-in Système de conception intégré pour une installation rapide
2. Siemens PLC,CPU; avec matériel de commande et de commande de PC industriels
3Disponible pour la surveillance et le diagnostic à distance.
4. flexible, prêt à être mis à niveau
5. Plusieurs cathodes pour une vitesse de dépôt rapide
D'autres avantages de la machine:
Conception robuste, qualité stable, cycle rapide, temps de cycle rapide, vitesse de dépôt élevée
| Principales configurations | |
| Modèle | RTAS1000 |
| La mise en œuvre de l'accord | Pulvérisation par magnétron en continu + revêtement par arc cathodique |
| Matériel de la chambre | Acier inoxydable (S304) |
| Taille de la chambre | Les mesures de sécurité doivent être appliquées en tenant compte de l'état de l'appareil. |
| Type de chambre | Forme D, chambre cylindrique |
| RECK de rotation et système JIG | Système de pilotage par satellite ou système de pilotage central |
| ÉNERGIE | Énergie de pulvérisation en continu: 2 à 4 ensembles Énergie de partialité: 1 ensembles d'arc Énergie: 11 ensembles |
| Matériel de dépôt | Les éléments suivants doivent être utilisés pour la détermination de l'efficacité de l'unité: |
| Source de dépôt |
Catodes à pulvérisation planée + cathodes à arc circulaire Remarque: un pulvérisateur à courant continu cylindrique est disponible. |
| Contrôle | PLC ((contrôleur logique programmable) + écran tactile (modèles de fonctionnement manuel + automatique + semi-automatique) |
| Système de pompage | Pompes à vannes rotatives: SV300B - 1 jeu (Leybold) |
| Pompes à racines: WAU1001 - 1 jeu (Leybold) | |
| Pompes de maintien: D60C - 1 série (Leybold) | |
| Pompes moléculaires à suspension magnétique: MAG2200 - 2 sest (Leybold) | |
| Contrôleur de débit de masse de gaz | 4 chaînes, fabriqué en Chine, modèle numérique Seven Star (série CS) (Ar, N2, O2, C2H2) |
| ÉVÉNEMENT du vide | Modèle: ZDF-X-LE, fabriqué en Chine |
| Système de sécurité | Nombreux interblocs de sécurité pour protéger les opérateurs et les équipements |
| Le chauffage | Les appareils de chauffage: 20 kW, température maximale: 450 °C |
| RÉFRÉGRATION | Chiller industriel (eau froide) |
| Le pouvoir max. | Le nombre de fois où le système est utilisé est de 100 kW (environ). |
| Consommation moyenne d'électricité | Le nombre de sièges est calculé en fonction du nombre de sièges. |
| Poids brut | T (environ) |
| Emprunt de pied | (L*W*H) 4000*4000*3600 MM |
| Électricité | L'équipement doit être équipé d'un système de freinage. |
Autres appareils pour la fabrication des produits du noyau ou de la tôle Catodes à pulvérisation plane
Veuillez nous contacter pour plus de détails, Royal Technology est honorée de vous fournir des solutions complètes de revêtement.
Téléchargez la brochure en cliquant ici:Système de dépôt par pulvérisation magnétique.pdf
Application du système de dépôt par pulvérisation magnétique...
