|
| Nom De Marque: | ROYAL |
| Numéro De Modèle: | Multi950 |
| MOQ: | 1 jeu |
| Prix: | depends on |
| Conditions De Paiement: | L/C,T/T |
| Capacité à Fournir: | 10 jeux par mois |
Tl'intégration des technologies PVD et PECVD dans une machine de revêtement hybride offre une série d'avantages qui peuvent conduire à une meilleure qualité, polyvalence, contrôle, efficacité et réduction des coûts,personnalisation, et la durabilité environnementale.
Le Multi950 est la pierre angulaire des systèmes de revêtement de conception avancée pour Royal Tech.Sa créativité et son dévouement désintéressé sont des valeurs illimitées et ont inspiré notre équipe.
En 2018, nous avons eu une autre coopération de projet avec Pressor Chen, le dépôt de matériau C-60 par
Nous remercions sincèrement M. Yimou Yang et le professeur Chen pour leur leadership et leurs conseils sur chaque projet innovant.
Propriétés de la machine Multi950:
Une empreinte compacte,
Conception modulaire standard,
Flexible
Confiant
Chambre octaire,
une structure à deux portes pour un accès facile,
Processus de PVD + PECVD.
Caractéristiques de conception:
1Flexibilité: les cathodes arc et pulvérisation, les brides de montage de source ionique sont normalisées pour un échange flexible;
2- polyvalence: peut déposer une variété de métaux communs et d'alliages; revêtements optiques, revêtements durs, revêtements mous,films composés et films lubrifiants solides sur les substrats de matériaux métalliques et non métalliques.
3Conception droite vers l'avant: structure à 2 portes, ouverture avant et arrière pour une maintenance facile.
La machine Multi950 est un système de dépôt sous vide multi-fonctions personnalisé pour la R&D. Après une discussion de six mois avec l'équipe de l'Université de Shanghai dirigée par le professeur Chen,Nous avons finalement confirmé la conception et les configurations pour répondre à leurs applications de R & DCe système est capable de déposer un film DLC transparent avec un procédé PECVD, des revêtements durs sur des outils et un film optique avec une cathode de pulvérisation.Nous avons développé 3 autres systèmes de revêtement après cela.:
1. revêtement de plaque bipolaire pour véhicules électriques à pile à combustible- FCEV1213,
2. Céramique en cuivre plaqué directement- DPC1215,
3Système de pulvérisation flexible RTSP1215.
Ces 4 modèles de machine sont tous dotés d'une chambre octal, des performances flexibles et fiables sont largement utilisés dans diverses applications.Il satisfaire les procédés de revêtement nécessitent plusieurs couches métalliques différentes: Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS et beaucoup d'autres métaux non phéromagnétiques;
Le procédé PECVD permet d'améliorer efficacement l'adhérence des films sur différents matériaux de substrat grâce à ses performances de gravure au plasma et au processus de dépôt de certaines couches à base de carbone.
Multi950 - Spécifications techniques
| Définition | Numéro de série |
|
Chambre de dépôt (mm) Largeur x Profondeur x Hauteur |
1050 x 950 x 1350 |
|
Sources de dépôt |
1 paire de cathodes de pulvérisation MF |
| 1 paire de PECVD | |
| 8 ensembles de cathodes à arc | |
| Source d'ions linéaire | 1 série |
| Zone d'uniformité du plasma (mm) | φ650 x H750 |
| Carrousel | 6 x φ300 |
|
Puissances (KW) |
Le biais: 1 x 36 |
| MF: 1 x 36 | |
| PECVD: 1 x 36 | |
| Arc: 8 x 5 | |
| Source d'ions: 1 x 5 | |
| Système de commande des gaz | MFC: 4 + 1 |
| Système de chauffage | 500°C, avec régulation PID par couple thermique |
| Valve de sortie à vide élevé | 2 |
| Pompes turbomoleculaires | 2 x 2000 L/S |
| Pompes à racines | 1 x 300 L/S |
| Pompes à vannes rotatives | 1 x 90 m3/h + 1 x 48 m3/h |
| Empreinte (L x W x H) mm | Le montant de l'indemnité est calculé à partir du montant de la taxe. |
| Puissance totale (KW) | 150 |
Les équipes de service et d'ingénierie de Royal Tech fournissent un support client sur place, contactez-nous pour vos demandes!
