Cuivrage direct de DPC sur la céramique Al2O3/la machine de cuivre de dépôt de cartes d'AlN

Éclat allumant la métallisation sous vide en céramique d'anneau de bijoux de DPC, Al2O3/cuivrage des cartes d'AlN PVD

Représentation

1. Pression finale de vide : meilleur que les torr 5.0×10-6.

2. Pression fonctionnante de vide : Torr 1.0×10-4.

3. Temps de Pumpingdown : de 1 atmosphère à 1.0×10-4 Torr≤ 3 chambres de minutes (température ambiante, sec, propre et vide)

4. Métallisation du matériel (pulvérisant + évaporation d'arc) : Ni, Cu, AG, Au, Ti, Zr, Cr etc.

5. Modèle fonctionnant : Complètement automatiquement /Semi-Auto/ manuellement

Structure

La machine de métallisation sous vide contient accompli le système principal énuméré ci-dessous :

1. Puits à dépression

2. Système de pompage de vide de Rouhging (paquet de pompe de support)

3. Système de pompage de vide poussé (par magnétisme pompe moléculaire de suspension)

4. Système de commande électrique et d'opération

5. Système d'installation d'Auxiliarry (sous-système)

6. Système de dépôt

Fonctionnalités clé de cuivre de machine de revêtement de pulvérisation

1. Équipé de 8 cathodes d'arc de boeuf et de cathodes de pulvérisation de C.C, cathodes de pulvérisation de MF, unité de source d'ions.

2. Revêtement multicouche et de Co-dépôt disponible

3. Source d'ions pour que le traitement préparatoire de nettoyage de plasma et le dépôt aidé par faisceau ionique augmente l'adhérence de film.

4. D'Al2O3/AlN de substrats de chauffage unité en céramique ;

5. Système de rotation et de révolution de substrat, pour 1 revêtement latéral et le revêtement de 2 côtés.

Usine de Magnetron Sputtering Coating de tonnelier sur le substrat en céramique de rayonnement

Le cuivre d'électrodéposition direct de processus de DPC est une technologie de revêtement avancée appliquée avec la LED/semi-conducteur/industries électroniques. Une application typique est en céramique rayonnant le substrat.

Dépôt conducteur de film de tonnelier sur Al2O3, substrats d'AlN par la technologie de pulvérisation de vide de PVD, comparée aux méthodes de fabrication traditionnelles :  DBC LTCC HTCC, coût de production beaucoup inférieur est sa caractéristique élevée.

L'équipe royale de technologie assited notre client à développé le processus de DPC avec succès avec la technologie de pulvérisation de PVD.

La machine de RTAC1215-SP conçue exclusivement pour le revêtement conducteur de cuivre de film sur les puces en céramique, carte en céramique.

Comment fait revêtement de PVD travail ?

Le métal solide est vaporisé ou ionisé dans un environnement de vide poussé et déposé sur les matériaux électriquement conducteurs en tant que films en métal pur ou d'alliage en métal. Quand un gaz réactif, tel que l'azote, l'oxygène ou un gaz basé sur hydrocarbure est présenté à la vapeur métallique, il crée la nitrure, oxyde, ou les revêtements de carbure comme courant métallique de vapeur, réagit chimiquement avec les gaz. Le revêtement de PVD doit être fait dans une chambre spécialisée de réaction de sorte que le matériel vaporisé ne réagisse avec aucun contaminant qui serait autrement présent dans la chambre.

Au cours du processus du revêtement de PVD, les paramètres de processus sont de près surveillés et commandés de sorte que la dureté en résultant de film, l'adhérence, la résistance chimique, la structure de film, et d'autres propriétés soient qu'on peut répéter pour chaque course. Le divers revêtement de PVD sont employés pour augmenter la résistance à l'usure, pour réduire le frottement, pour améliorer l'aspect, et réalisent d'autres améliorations de représentation.

Afin de déposer des matériaux de grande pureté tels que le titane, le chrome, ou le zirconium, argent, or, aluminium, cuivre, acier inoxydable, le processus physique du revêtement de PVD utilise une de plusieurs différentes méthodes de revêtement de PVD, incluant :

Évaporation d'arc

Évaporation thermique

DC/MF pulvérisant (le bombardement des ions)

Ion Beam Deposition

Électrodéposition d'ion

Pulvérisation augmentée

Veuillez nous contacter avec plus de caractéristiques, technologie royale est honoré pour te fournir les solutions de revêtement totales.