Le système de dépôt sous vide poussé CsI950 est exclusivement conçu pour la métallisation CsI et TII sur des écrans à scintillation dans un environnement de vide extrêmement poussé.Les scintillateurs CsI de 200 à 600 µm d'épaisseur présentent une grande uniformité d'épaisseur et de luminosité :
Ultra-haute résolution spatiale de l'imagerie ;
Réponse rapide pour une imagerie plus nette ;
Zones d'image bord à bord de première classe ;
Couches absorbantes optiques ou couches réfléchissantes ;
Faible dose de rayons X pour le patient.
Substrats appliqués :Verre TFT, plaque à fibre optique, plaque en carbone amorphe, plaque en aluminium
Application:pour le contrôle et l'inspection de sécurité, l'enseignement de la physique des hautes énergies, la détection des rayonnements nucléaires et l'imagerie médicale : examen thoracique, mamographie, interbuccale dentaire et panoramique.
Avantages techniques
Royal Technology propose 2 modèles de machine : CsI950 et CsI950A+
Le modèle CsI950A+ est mis à jour sur la base du CsI950 de 1ère génération, ses avantages :
1. Efficacité
-Le modèle CsI-950A + est doté d'une structure de rack à 2 rotations basée sur le modèle Generation -one CsI-950.
-Double capacité pour max.substrat de taille : 500 x400mm.
2. Répétabilité et reproductibilité
-Grâce à un système de contrôle des paramètres de haute précision,
-Logiciel et programme de contrôle de processus automatisé,
-Fonctionnement convivial.
3. Fiabilité
-Fonctionnement continu 24h/24 et 7j/7 ;
-Contrôleur d'épaisseur de film Inficon pour surveiller l'épaisseur du film en ligne.
- Précision du contrôle de la température : ± 1 ℃, réglage en plusieurs étapes, enregistrement et contrôle automatiques des données de température
-Crémaillères rotatives équipées d'un servomoteur pour une grande précision et stabilité.
4. Sécurité
-Pompe à vide poussé : pompe moléculaire à suspension magnétique, avec dispositif de soufflage d'azote gazeux pour éviter que des matières dangereuses ne soient exposées dans l'air ;
-Toutes les électrodes sont équipées de manchons de protection de sécurité.
Paramètres techniques
La description | CSI-950 |
CSI-950A+
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Chambre de dépôt (mm)
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φ950 x H1350 |
φ950 x H1350
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Chargement des racks rotatifs | 1 | 2 |
Sources d'évaporation | 2 |
2
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Méthode de chauffage |
Lampe iode tungstène Max.1800℃ |
Lampe iode tungstène Max.1800℃ |
Pression de vide ultime (Pa) | 8.0×10-5Pa | 8.0×10-5Pa |
Pompe moléculaire à suspension magnétique | 1 x 3400L/S |
1 x 3400L/S
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Pompe à racines | 1 x 490m³/h |
1 x 490m³/h
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Pompe à palettes rotatives | 1 x 300m³/h |
1 x 300m³/h
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Contrôleur de dépôt | Commande à quartz x 1 |
Commande à quartz x 1
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Consommation d'énergie (kW) |
Max.environ.62 Moyenne env.32 |
Max.environ.65 Moyenne env.35 |
À l'intérieur
Lieu : Chine