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Nom De Marque: | ROYAL |
Numéro De Modèle: | RTSP1213-DC |
MOQ: | 1 jeu |
Prix: | négociable |
Conditions De Paiement: | L/C, A/D, D/P, T/T |
Capacité à Fournir: | 6 ensembles par mois |
Sic système de pulvérisation du module PECVD de Fuel Cell/équipement de revêtement de pulvérisation de magnétron Fuel Cell d'hydrogène
Sic caractéristiques de système de pulvérisation de module de Fuel Cell
MODÈLE | RTSP1213-DC | |||||||||
MATÉRIEL | Acier inoxydable (S304) | |||||||||
TAILLE DE CHAMBRE | Φ1250 * 1350mm (h) | |||||||||
TYPE DE CHAMBRE | Avant et dos 2 - structure de portes, verticale | |||||||||
PAQUET SIMPLE DE POMPE | Pompe à vide de piston rotatoire | |||||||||
Pompe à vide de racines | ||||||||||
Pompe moléculaire de suspension magnétique | ||||||||||
Pompe de palette rotatoire (tenant la pompe) | ||||||||||
TECHNOLOGIE | Magnétron pulvérisant, source d'ions PECVD | |||||||||
ALIMENTATION D'ÉNERGIE | Alimentation d'énergie de pulvérisation + alimentation d'énergie + source d'ions polarisées | |||||||||
SOURCE DE DÉPÔT | cathodes de pulvérisation de 2 paires DC/RF + (2 paires de pièce de rechange utilisant) + source d'ions | |||||||||
CONTRÔLE | Écran de PLC+Touch | |||||||||
GAZ | L'écoulement de la masse de gaz dose (l'AR, N2, C2H2, O2) l'argon, l'azote et l'Ethyne, l'oxygène | |||||||||
SYSTÈME DE SÛRETÉ | Contacts de sécurité nombreux pour protéger les opérateurs et l'équipement | |||||||||
REFROIDISSEMENT | L'eau de refroidissement | |||||||||
NETTOYAGE | Décharge luminescente/source d'ions | |||||||||
MAXIMUM DE PUISSANCE. | 150KW | |||||||||
PUISSANCE MOYEN | 75KW |
Sic le système de pulvérisation de module de Fuel Cell est exclusivement conçu et développé pour l'application de vechiles de FCV. FCV est le nom court du véhicule de Fuel Cell, il est la plus nouvelle technologie pour la prochaine génération des voitures vertes. Il peut produire de l'énergie électrique sans interruption par la réaction électrochimique entre l'oxygène et l'hydrogène. Il est différent de la pile telle que la cellule sèche et de la batterie rechargeable qui doit répéter le remplissage.
La technologie de base est comment produire de l'énergie électrique avec le module d'alimentation de pile à combustible par la réaction électrochimique entre l'hydrogène comme carburant et l'oxygène.
La pile à combustible d'hydrogène en tant que la plupart de part importante principale du module d'alimentation, scientifiques, les ingénieurs, professeurs des organismes de transport et des véhicules mondiaux fabrique ont fait des essais de milliers et ont finalement trouvé le traitement approprié.
Système de pulvérisation de module d'alimentation de Fuel Cell d'hydrogène avec la technologie de PECVD (déposition en phase vapeur augmentée par plasma) pour déposer l'uniformité élevée, les couches sic minces fortes d'adhérence.
La machine de pulvérisation de pile à combustible d'hydrogène contient cathodes équilibrées/unblanced de source d'ions, de pulvérisation ; avec le système de pompage stable et de large volume de vide.
Le système conçu spécial de support et de gabarit peut prendre le -mouvement dedans complètement pour un chargement commode de substrats/le déchargement.
Veuillez nous contacter avec plus de caractéristiques, technologie royale est honoré pour te fournir les solutions totales de revêtement.