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| Nom De Marque: | ROYAL |
| Numéro De Modèle: | RTAC1215-SP |
| MOQ: | 1 jeu |
| Prix: | négociable |
| Capacité à Fournir: | 6 ensembles par mois |
Usine de revêtement par pulvérisation cathodique Ni PVD, système de métallisation sous vide Cr, équipement de placage sous vide Sn/Ag, usine de placage de cuivre
Structure de l'équipement :
La machine RTAC1215-SP est un type octcal, qui se compose de pompes à vide, d'une chambre à vide qui a monté 8 cathodes à arc, 1 source d'ions linéaire, 2 ensembles de cathodes de pulvérisation CC et 1 paire de cathodes de pulvérisation MF.La source d'ions, les brides montées sur les cathodes de pulvérisation sont standardisées et peuvent être échangées de manière flexible en fonction de la demande réelle du processus de revêtement.
Applications:
1. Industrie DPC pour les pièces d'étanchéité en céramique, processus DPC, système de pulvérisation PVD en cuivre, puces en céramique LED avec placage Cooper, Al2O3, Circuits imprimés en céramique AlN, plaques Al2O3 sur LED, semi-conducteur
2. Argent, Ni, Chrome, Or, Aluminium, In, Sn etc. films métalliques et TiN, TiAlN, TiC, TiO, CrC, CrCN, CrN etc.
Avantages :
1. Production rentable
2. Humanisation du poste de travail (conception ergonomique du poste de travail, minimisation de l'espace, du bruit et des risques d'accident)
3. Rendement de haute qualité.
4. Forte adhérence avec dispositif de chauffage puissant et nettoyage de la source de plasma ;
5. Conception compacte et accès facile pour les travaux de mise à niveau et de maintenance.
6. Entièrement automatisé, PLC+écran tactile, système de contrôle à une touche.
7. Haute efficacité avec moins de consommation d'énergie, max.50% d'économie sur les coûts de production.
Spécifications techniques:
1. Pression de vide ultime : meilleure que 9,0*10-5Pennsylvanie;
3. Temps de pompage : de atm à 1,0 × 10-3Pa≤15 minutes (température ambiante, chambre sèche, propre et vide)
4. Source de dépôt : cathodes de pulvérisation magnétron Gencoa, cathodes à arc dirigé, source d'ions
5. Modèle de fonctionnement : Entièrement automatique/semi-automatique/manuellement
6. Chauffage : de la température ambiante jusqu'à max.500℃,
9. Source d'ions pour les procédés PECVD et PA PVD.
La machine de revêtement sous vide contient le système clé complet répertorié ci-dessous :
1. Chambre à vide
1.1 Taille : diamètre intérieur : 1200 mm
Hauteur intérieure : 1500 mm
1.2 Matériel : Chambre à vide SUS304
Porte et brides SUS304
Structure renforcée de la chambre : acier doux SS41, avec traitement de surface de finition peinte.
Châssis de la chambre en acier doux SS41 avec traitement de surface de finition peinte.
1.3 Chambre Bouclier : SUS304
1.4 Fenêtre de vue : 2 sur la porte
1.5 Soupape de ventilation de la chambre à vide (y compris le silencieux)
1.6 Porte : matériau SUS304
2. Système de pompage à vide grossier :
Pompe à vide à palettes à huile + pompe de maintien
Pompe moléculaire à suspension magnétique - 2 ensembles
4. Système de contrôle et d'exploitation électrique- Système d'exploitation à écran tactile PLC+ :
Fournisseurs:
API : Mitsubishi + écran tactile (fabriqué en Chine)
Composants électroniques : SCHNEIDER, OMRON.
Système de protection de sécurité :De nombreux verrouillages de sécurité pour protéger les opérateurs et les équipements (eau, courant gaz, température, etc.)
Système de processus de revêtement: Automatisation et contrôle des processus.
4.1 Circuit principal : interrupteur sans fusible, interrupteur électromagnétique, C/T en série
4.2 Alimentation : alimentation de pulvérisation DC/MF + alimentation d'arc DC + alimentation de polarisation
4.3 Système de contrôle des dépôts
4.4 Système d'exploitation : écran tactile + API, contrôle des recettes et enregistrement des données, arrêt automatique, évacuation automatique, revêtement automatique
4.5 Système de mesure
Pression à vide : jauge à vide : Pirani + jauge Penning + jauge à vide à gamme complète -- marque européenne
Appareil de mesure de température : Thermocouple
MFC : contrôleur de débit massique (4 voies),
4.6 Système d'alarme : pression d'air comprimé, débit d'eau de refroidissement, mauvais fonctionnement
4.7 Indicateur de charge électrique : indicateur de tension et indicateur de courant de charge
5.Système de dépôt
5.1 Source de dépôt : cathodes de pulvérisation + sources d'arc + source d'ions
5.2 Matériau de dépôt : cuivre, aluminium, chrome, argent, or, acier inoxydable, titane, etc.
6.Sous-système
6.1 Système de commande de soupape à air comprimé
6.2 Système d'eau de refroidissement : tuyau d'écoulement d'eau et système de soupape de commutation
Air comprimé : 5~8kg/cm2
Eau de refroidissement : température d'entrée d'eau : 20 ~ 25 ℃, 200 litres/min,
Pression d'entrée d'eau : 2~3 kg/cm2,
Alimentation : 3 phases 380 V 50 Hz (60 Hz), 130 kVA, consommation électrique moyenne : 60 KW
Zone d'installation : (L*W*H)4400*3200*2950mm
Échappement : évent pour pompes mécaniques
Veuillez nous contacter pour plus de spécifications, Royal Technology vous aide avec des solutions de revêtement totales.
