Équipement de dépôt de pulvérisation d'or d'Au, Silve/machine dépôt de l'or PVD, système conducteur de pulvérisation du film PVD
Résumé : Le cuivre d'électrodéposition direct de processus de DPC est une technologie avancée de revêtement appliquée avec la LED/semi-conducteur/industries électroniques. Une application typique est en céramique rayonnant le substrat. Le dépôt conducteur de film de tonnelier sur l'oxyde d'aluminium (Al2O3), substrats d'AlN par PVD nettoient à l'aspirateur la technologie de pulvérisation, comparée à la fabrication traditionnelle
méthodes : DBC LTCC HTCC, coût de production beaucoup inférieur est sa caractéristique élevée.
L'équipe royale de technologie a aidé notre client a développé le processus de DPC avec succès avec la technologie de pulvérisation de PVD.
Mots-clés : Pièces de scellage en céramique, processus de DPC, système de cuivre de pulvérisation de PVD, puces en céramique de LED avec l'électrodéposition de tonnelier, Al2 O3, cartes en céramique d'AlN, plats Al2O3 sur LED, semi-conducteur
Demandes de DPC :
· HBLED
· Substrats pour les cellules solaires de concentrateur
· Emballage de semi-conducteur de puissance comprenant le contrôle de moteur des véhicules à moteur
· L'électronique de gestion de puissance d'automobile hybride et électrique
· Paquets pour le rf
· Dispositifs à micro-ondes
Représentation de technologie de DPC
Divers matériaux de substrat : En céramique (Al3O2, AlN), verre, et SI
Caractéristiques :
Spécifications techniques
1. Pression finale de vide : améliorez que la PA 9.0*10-5 ;
3. Temps d'arrêt de pompage : de l'atmosphère aux minutes de 1.0×10-3 Pa≤15 (la température ambiante, sèche, nettoient et vident la chambre)
4. Source de dépôt : Cathodes de pulvérisation de magnétron de Gencoa, cathodes orientées d'arc, source d'ions
5. Modèle fonctionnant : Plein automatiquement /Semi-Auto/ manuellement
6. Chauffage : de la température ambiante jusqu'au maximum 500℃,
9. Source d'ions pour le processus de PECVD et de PA PVD.
La machine de métallisation sous vide contient le système de clé accompli énuméré ci-dessous :
1. Puits à dépression
1,1 taille : Diamètre intérieur : 1200mm
Taille intérieure : 1500mm
1,2 matériel : Puits à dépression SUS304
Porte et brides SUS304
La chambre renforcent la structure : Acier SS41 doux, avec la préparation de surface de finition peinte.
Acier doux du châssis SS41 de chambre avec la préparation de surface de finition peinte.
1,3 bouclier de chambre : SUS304
1,4 fenêtre de vue : 2 sur la porte
1,5 clapet de mise à l'air libre de puits à dépression (silencieux y compris)
1,6 porte : Matériel SUS304
2. Système de pompage de vide de dégrossissage :
Pompe à vide de palette rotatoire d'huile + tenant la pompe
3. Système de pompage de vide poussé : Par magnétisme pompe moléculaire de suspension - 2 ensembles
4. Système électrique d'opération d'écran tactile du système de commande et d'opération PLC+ :
Fournisseurs :
PLC : Mitsubishi + écran tactile (fabriqué en Chine)
Composants électroniques : SCHNEIDER, OMRON.
Système protecteur de sécurité : Contacts de sécurité nombreux pour protéger les opérateurs et l'équipement (l'eau, gaz actuel, température etc.)
Le revêtement traite le système : Automatisation des processus et contrôle.
4,1 circuit de canalisation : commutateur de briseur d'Aucun-fusible, commutateur électromagnétique, type de C/T en série
4,2 alimentation d'énergie : Puissance d'arc de puissance + de C.C de pulvérisation de DC/MF + alimentation d'énergie polarisée
4,3 système de contrôle de dépôt
4,4 système d'opération : Écran tactile + PLC, contrôle de recette et enregistrement de données, arrêt automatique, évacuation automatique, revêtement automatique
4,5 système de mesure
Pression de vide : Mesure de vide : Pirani + parquant la mesure + mesure de vide de gamme complète -- Marque de l'Europe
Appareil de mesure de la température : Thermocouple
Cpc : Contrôleur d'écoulement de la masse (4 manières),
4,6 système d'alarme : Pression d'air comprimé, écoulement d'eau de refroidissement, Mis-opération
4,7 indicateur de charge de puissance : Indicateur de tension et indicateur de courant de charge
5. système de dépôt
5,1 source de dépôt : Sources d'arc de la pulvérisation cathodes+ + source d'ions
5,2 matériel de dépôt : Cuivre, aluminium, Chrome, argent, or, solides solubles, titane etc.
6. Sous-système
6,1 système de contrôle comprimé de valve d'air
6,2 circuit de refroidissement de refroidissement : Système de valve de tuyau et de commutateur d'écoulement d'eau
7. Environnement de travail
Air comprimé : 5~8kg/cm2
L'eau de refroidissement : Eau-dans la température : 20~25℃, 200 litres/minute,
Eau-dans la pression : 2~3 kg/cm2,
Puissance : 3 phase 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, puissance moyen : 60KW
Région d'installation : (L*W*H) 4400*3200*2950mm
Échappement : Conduit pour les pompes mécaniques
Veuillez nous contacter avec plus de caractéristiques, technologie royale est honoré pour te fournir les solutions totales de revêtement.