Métallisation par évaporation / revêtement sous vide à rouleaux / machine de revêtement sous vide à pulvérisation
Métallisation sous vide à l'aide d'un rouleau à rouleaux Les avantages de l'équipement
A. Une chambre divisée en zones à pression multiple pour accueillir diverses sources de dépôt.
B. capacités de dépôt simultané à plusieurs sources dans une seule bande passante, pour revêtement multicouche.
C. La direction inversible de l'enroulement de la toile permet de déposer des couches illimitées sans rompre le vide.
D. Mécanismes de manipulation de la toile de précision avec guide de bord pour permettre plusieurs passages sans perte d'alignement (facultatif)
E. Système d'entraînement à tige inverse AC pour un contrôle précis de multiples vitesses de tige.
F. Systèmes de surveillance de l'épaisseur optique et/ou de la résistance en ligne, pour contrôler l'épaisseur et l'uniformité précises des dépôts (facultatif)
G. La chambre est construite en acier inoxydable SUS304L avec des composants à faible émission de gaz pour assurer un vide plus profond.
H. Pompage sous vide par une combinaison de pompe turbomoleculaire et de cryogéniques à basse température, pour fournir un vide propre sans contamination par l'humidité ou l'huile.
| Définition | Modèles de métalliseurs sous vide R2R | |||||
| R2R-600 | R2R-1250 | R2R-1350 | R2R-1650 | R2R-2200 | R2R-2500 | |
| Technologie de revêtement | L'utilisation thermique ou par pulvérisation | Évaporation thermique | ||||
| Largeur du substrat (max.) mm | 600 | 1100 | 1250 | 1500 | 2200 | 2500 |
| Diamètre du rouleau (max.) mm | 800 | 1000 | 1000 | 1000 | 1000 | 1000 |
| Diamètre du noyau (à l'intérieur) mm | 3 ou 6 pouces. | 6 pouces | ||||
| Vitesse de revêtement (m/seconde) | 0.5 ~ 17, réglable, dépend du procédé de revêtement requis | |||||
| Température des rouleaux de revêtement (°C) | - 20 à 25 ans | |||||
| La pression finale de la chambre de revêtement ((Pa) | 5*10-3 | |||||
| Vitesse de pompage | À température ambiante, propre et sans chargement: moins de 8 min, de 7*10-2 | |||||
| Outil de prétraitement | Source d'ions linéaire | |||||
| Source de dépôt | BN Catode de pulvérisation de cylindre à fond ou à cylindre plan/rotatif | |||||
| Matériau de dépôt | Al, Al, Cr, Cu, Ni, NiCr, acier inoxydable, Ti, | |||||
| Environnement de travail | Puissance: 3 phases, 5 fils, 380 V ± 10%, 50 Hz/60 Hz | |||||
| L'eau de refroidissement: EDI, 4 à 6 bar @ 25°C | ||||||
| Air comprimé: 5 à 6 bar, filtré et séché | ||||||
Métallisation sous vide à l'aide d'un rouleau à rouleaux Caractéristiques du matériel:avec plusieurs sources de dépôt, disponibles pour le film conducteur d'oxyde, le film conducteur de métal, le film optique, le film diélectrique.
Métallisation sous vide à l'aide d'un rouleau à rouleaux Substrats pour équipements:Films PET,PEN, PES, PI, PC et PA
Métallisation sous vide à l'aide d'un rouleau à rouleaux Applications des équipements:Il s'agit d'un document électronique, de circuits flexibles, de panneaux photovoltaïques, de bandes médicales, de RFID (identification par radiofréquence) et de films à faible intensité.
Métallisation sous vide à l'aide d'un rouleau à rouleaux Échantillons de revêtement des équipements:
Circuits flexibles revêtement de film PET
Étiquettes RFID
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