Machine de revêtement inductive d'évaporation
Résumé :
Le chauffage par induction est très utilisé dans différents champs dus à la productivité et à l'universalité de processus élevées, propreté et possibilité de pleine automation. En tant qu'une méthode de technologie thermique d'évaporation de PVD, le processus est amical pour l'environnement. Puisque l'induction laisse atteindre la température de 2000℃ et de plus, cette méthode est très appropriée à la production industrielle et scientifique recherche.
La machine de revêtement d'évaporation de l'induction RTEP0404 est conçue pour le dépôt C60 de évaporation varie dessus des matériaux. C60 fabrique fournit la R&D et les résultats d'essai pour éventuel. Un outil fort les aidant pour augmenter de nouvelles industries appliquées.
Applications principales :
Pour déposer des couches et des revêtements de la couche mince dessus
Type :
Orientation verticale, modèle de cloche en verre, ouverture supérieure
Caractéristiques de conception :
Spécifications techniques :
1. Pression finale de vide : améliorez que la PA 9.0*10-5 ;
Pression basse de vide : PA 3.0*10-4
3. Temps d'arrêt de pompage : de 1 atmosphère aux minutes de 2.0×10-3 Pa≤25 (la température ambiante, sèche, nettoient et vident la chambre)
4. Source de dépôt : vaporisateur d'induction, creuset
5. Modèle fonctionnant : Manuellement
6. Chauffage : de la température ambiante jusqu'au maximum 1000℃,
7. Puissance d'évaporation : Radiofréquence de rf et alimentation d'énergie
8. Gaz fonctionnant : L'AR
La machine de métallisation sous vide contient le système de clé accompli énuméré ci-dessous :
1. Puits à dépression
1,1 taille : Diamètre intérieur 400mm
Taille intérieure : 400mm
1,2 matériel : Puits à dépression SUS304
La chambre renforcent la structure : Acier SS41 doux, avec la préparation de surface de finition peinte.
Acier doux du châssis SS41 de chambre avec la préparation de surface de finition peinte.
1,3 bouclier d'évaporation : SUS304
1,4 fenêtre de vue : sur la porte de chambre
1,5 clapet de mise à l'air libre de puits à dépression (silencieux y compris)
2. Système de pompage de vide de dégrossissage :
Pompe de palette rotatoire d'huile à deux étages
3. Système de pompage de vide poussé : Pompe moléculaire de Turbo
4. Unité électrique d'opération du système de commande et d'opération HMI
4,1 circuit de canalisation : commutateur de briseur d'Aucun-fusible, commutateur électromagnétique, type de C/T en série
4,2 puissance d'évaporation
4,3 système de contrôle d'évaporation
4,4 système d'opération : PLC
4,5 système de mesure
Pression de vide : Mesure de vide : Pirani + parquant la mesure
4,6 système d'alarme : Pression d'air comprimé, écoulement d'eau de refroidissement, Mis-opération
4,7 indicateur de charge de puissance : Indicateur de tension et indicateur de courant de charge
5. système de dépôt
5,1 source de dépôt : vaporisateur de courant ascendant d'induction
5,2 matériel de dépôt : C60
6. Sous-système
6,1 système de contrôle comprimé de valve d'air
6,2 circuit de refroidissement de refroidissement : Système de valve de tuyau et de commutateur d'écoulement d'eau
6,3 gaz fonctionnant : L'AR (>99.99%)
7. Environnement de travail
Air comprimé : 5~8kg/cm2
L'eau de refroidissement : Eau-dans la température : 20~25℃, 200 litres/minute,
Eau-dans la pression : 2~3 kg/cm2,
Puissance : 3 phase 380V 50Hz (60Hz), 8kVA, puissance moyen : 3kVA
Région d'installation : (L*W*H) 2000*200*2000mm
Échappement : Conduit pour les pompes mécaniques
Automatiquement tirant l'unité d'Up-Down pour s'ouvrir/étroit la chambre
Système d'armoire électrique :
Astuces de sécurité :
Protection de Shileding contre le rayonnement de rf
Nous avons été essayons de concevoir et développer le procédé de protection le plus approprié qui rencontre notre qualité élevée d'efficacité et de revêtement de production de client demande.
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