Dépôt de tantale, L'or et les métaux précieux par pulvérisation La pulvérisation est largement utilisée pour déposer des métaux réfractaires tels que le tantale, le titane, le tungstène,niobium, qui n...Vue davantage
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Système de dépôt par pulvérisation par magnétron à film mince de tantale (Ta) - RTSP1000