La série de RTAS est une machine émettrice multiple intégrée de dépôt aux couleurs générales de graphite, de noir de jais, bleues, en cuivre et en bronze sur des pièces en métal, objets d'acier inoxydable. En particulier utilisé pour les pièces de luxe de classe à extrémité élevé.
Application standard
Bijoux, bracelets de montre et corps, sports d'acier inoxydable, écrivant des instruments
Électronique grand public : Téléphone portable, ordinateur portable, caméra, bourdons
Les machines de RTAS équipées des sources circulaires de dépôt de pulvérisation d'arc et de cylindre. Combinaisons multiples de C.C pulvérisant, pulvérisation de MF, évaporation d'arc et source d'ions etc. Tous sont disponibles dans une machine simple, pour une flexibilité élevée dans les configurations de satisfaire de diverses applications. Particulièrement pour les revêtements esthétiques de petits composants : couleurs de noir de jais, d'en cuivre, de laiton et de chrome.
Que le MF pulvérise-t-il ?
Comparé au C.C et au rf pulvérisant, la fréquence médiane pulvérisant est devenue une technique principale de pulvérisation de la couche mince pour la production en série du revêtement, en particulier pour le dépôt de film des revêtements diélectriques et non-conducteurs de film sur des surfaces telles que les revêtements optiques, les panneaux solaires, les couches multiples, le film etc. de matériau composite.
Il remplace la pulvérisation de rf due à lui a fonctionné avec le kilohertz plutôt que le mégahertz pour une vitesse de dépôt beaucoup plus rapide et peut également éviter l'empoisonnement de cible pendant le dépôt de la couche mince de composé comme le C.C.
Les cibles de pulvérisation de MF ont toujours existé avec des deux-ensembles. Deux cathodes sont utilisées avec un courant à C.A. ont commuté dans les deux sens entre elles qui nettoie la surface de cible avec chaque inversion pour ramener la charge pour s'accumuler sur des diélectriques que des avances à courber qui peut répandre des gouttelettes dans le plasma et empêcher la croissance uniforme de la couche mince est qui ce que nous avons appelé Target Poisoning.
Specificaitons technique
| Non. | Nom |
| 1 | Système de pompage de vide : Pompe moléculaire de Turbo + pompe mécanique des racines Pump+ + tenant la pompe |
| 2 | Système de mesure de vide : Pirani + parquant des mesures |
| 3 | Système de chauffage : appareils de chauffage pour des substrats réchauffant pour améliorer l'adhérence |
| 4 | L'eau/système comprimé d'admission d'air : conception modulaire et fabaricated |
| 5 | Cathodes de pulvérisation de cylindre : 2/4/6/8 paire de cibles de jumeaux pour l'option |
| 6 | Soupape à vanne de vide (comme option) |
| 7 | Armoire électrique (norme de la CE) |
| 8 | Puits à dépression (SS304/316L comme en a été faite la demande) |
| 9 | Source cathodique d'arc (cathodes conventionnelles d'arc) |
| 10 | Port de vue (2 distribués sur la porte pour l'inspection à l'intérieur de la chambre de dépôt) |
| 11 | Traitant le système de distribution de gaz (contrôleur d'écoulement de mètre pour 4 canaux) |
| 12 | Système d'entraînement de support (modèle moteur planétaire) |
| 13 | Carrousel |
| Description | RTAS1250 | RTAS1612 |
| Chambre de dépôt (millimètres) | φ1250 * H1250 | φ1600 * H1250 |
|
Entraînement planétaire Secteur de revêtement efficace (millimètres) |
8 : φ270*H850 10 : φ230*H850 |
10 : φ300*H850 16 : φ200*H850 |
| Cathode circulaire d'arc (ensembles) | 7 | 12 |
| Cathodes de pulvérisation de cylindre (paires) | 3 /4 | 4 / 6 |
|
Puissance polarisée pulsée (Kilowatt) |
36 | 48 |
| Puissance de pulvérisation de C.C/MF (kilowatts) | 36 | 4*36 |
| Puissance d'arc (kilowatts) | 7*5 | 12*5 |
| Pompes à vide |
Pompes moléculaires de 2* Turbo 1*SV300B 1*WAU1001 1*TRP60 |
Pompes moléculaires de 3* Turbo 2*SV300B 1*WAU2001 1*TRP90 |
| Puissance maximale (kilowatts) | 200 | 245 |
| Puissance moyen (kilowatts) | <75> | <100> |
| L'espace d'opération (L*W*H) millimètre | 4300*3700*2800 | 5000*4000*2800 |
Configurations flexibles : la machine est placée selon des conditions de revêtement de processus et de clients
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