Le pulvérisation par magnétron est largement utilisé pour déposer des métaux réfractaires comme le tantale, le titane, le tungstène,niobium, qui nécessiterait des températures de dépôt très élevées, ...Vue davantage
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TaN Ta2O5 Films optiques Système de dépôt par pulvérisation magnétronique, dépôt assisté par faisceau ionique