| Chambre | Orientation verticale, 1 porte |
|---|---|
| Matériel | Acier inoxydable 304/316 |
| Source d'évaporation | Filament thermique, bateau thermique, boîte thermique, tige, creusets |
| Matériaux de dépôt | Aluminium, or, argent, chrome, cuivre, indium, oxyde d'étain et d'indium, nickel |
| Emplacement d'usine | Ville de Changhaï, Chine |
