Sources de plasma à couche anodique
| Points forts | Applications: |
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enrobeuses R2R, Systèmes de dépôt en ligne, Coucheuses discontinues Pour les films optiques, les revêtements durs, les films minces fonctionnels et décoratifs, le traitement plasma des textiles. |
| Produit | ActiveGas-ALS (rectangulaire) | ActiveGas-ALS (circulaire) |
| Max.tension de décharge | 1500V | 1500V |
| Max.courant de décharge | >15mA/cm | >15mA/cm |
| Énergie ionique | 50~800eV | 50~800eV |
| Pression de service | 5×10-2~1 Pa | 5×10-2~1 Pa |
| Eau de refroidissement | 5L/min | 2L/min |
| Dimensions (mm) | 145W@L<390 / 160W@L>400 | ø114×130(H) |
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